Page 34 - Vol_51

VOL.51 廠務季刊 RD 廠區空污混排改善策略與執行成效

由式⑵推導可以得到在洗滌塔內任一位置溶質於液氣
兩相之間的莫爾分率。

式⑸

其中 Lm 和 Gm 分別為液相莫耳流率以及氣相莫耳流
率，而 x 和 y 分別為溶質在液相和在氣相的莫爾分率，
xa 和 xb 分別為溶質在液相的出口和入口的莫爾分率，
ya 和 yb 分別為溶質在氣相的入口和出口的莫爾分率。

基於雙膜理論的基礎，前人已經發展出許多關於洗滌塔
[05]
相關的計算公式 ，以填充式洗滌塔為例，以下填充 圖 1：雙膜理論示意圖 [03]
物高度以及去除效率之間關係可以由以下的公式得到 :

式⑹

其中 y1 和 y2 分別為溶質在氣相中於洗滌塔入口和
出口的濃度，單位為 ppmv ; ac 為填充物比表面積，
2
3
單位為 m /m ; hT 為填充物之高度，其單位為 m ;
Gmol 為單位面積氣流的莫耳流率，單位為 ; kG
為氣相之質傳係數。

針對光電以及半導體產業適用之洗滌塔，白曛綾提出
了根據式⑷提出經驗式⑺，透過洗滌塔的操作參數推
算出洗滌塔的填充物高度計算方式如下 :

式⑺

其中 m 亨利係數，表示溶質之水溶性，若 m 越小，
表示越不容易以洗滌的方式去除污染物，C、D、E 則
表示各種洗滌塔操作參數根據經驗公式推得的參數，
由式⑺可得知，洗滌塔的去除效率和滯留時間、洗滌
液 pH 值、溶質解離程度、液氣比、洗滌液水質等等
圖 2：逆流式填充塔質量平衡式意圖 [04]
參數成正比。( 表1)

表 1：化學物質的亨利常數

污染物 / 物種 HF HCl HNO 2 HNO 3 NH 3 IPA
亨利常數 1.85 727 50 21000 62 6.49
註：溫度為 298K

��