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VOL.51 廠務季刊 RD 廠區空污混排改善策略與執行成效

4.2 鹼排中「異丙醇」排放問題 4.3 酸排中「異丙醇」及「氨」排放問題

❶案例描述 : ❶案例描述 :

某廠區於 2017 年 7 月進行空污自檢時，量測結果發 2009 年 F12P4 工程師發現風管之風門處有結晶狀
現鹼性排氣煙囪檢測到高達 34ppm 的非甲烷碳氫化 況，懷疑是酸鹼混和產生的鹽類，清查管道污染物
合物，後續利用 MiTAP 儀器檢測，發現有機污染物組 發現氨氣濃度高達 150ppm；2015 年 12P5 亦發現
成以異丙醇為主要成分，故找出異丙醇來源及去除為 因酸鹼混排產生的酸鹼鹽類造成煙囪有白煙現象；
解決此問題的關鍵。 2016 年 F12P7 酸性排氣煙囪中，被檢測出異丙醇高
達 5ppm。
❷污染物來源 :
❷污染物來源 :
排查上游管道來源，發現是 LAM EOS PS(polymer
stripping) 機台，製程過程中，會在同一腔體內使用 以上案例經排查上游來源機台後，源頭均指向同一
鹼性及有機性化學品，在機台端量測結果，異丙醇濃 製程。酸槽機台 DNS SU-3X00 系列機台因在腔體內
度可高達 800ppm，並且排放至鹼性排氣管道內，推 使用多種化學品，如氫氟酸、硫酸、氨氣和異丙醇
測是末端煙囪測到高濃度異丙醇的原因之一。 等等，機台本身原本也有因應多種類污染物分流的
機制，在切換不同污染物時，會利用 Switch box 進
❸處理方案 : 行切換分別抽氣，但檢測結果可以得知此方法的分
流效果有限。
雖然異丙醇易溶於水，但半導體有機排氣有著低濃度
高風量的特性，洗滌塔設計的滯留時間約只有 0.8 秒，
❸處理方案 :
導致異丙醇去除效率不佳。
參照圖7 的排放準則，在酸槽機台後方安裝了水洗現
後續與設備工程師合作確認機台端排放廢氣組合，結 址式洗滌塔 DAS Salix，在水洗加藥的選擇上我們的
果發現無無機酸污染物被排放至管道中，沒有對於轉 選擇是加液鹼除酸，免除掉加硫酸除鹼，造成煙囪硫
輪造成損害的疑慮。套用上文所敘述的混排管理方 酸檢測量上升的風險。之後在進入沸石轉輪去處理剩
式，將管道改至有機性廢氣排放管道進入沸石轉輪和 餘的污染物。
燃燒爐處理設備，此方法不但能去除鹼性污染物，同
時也能改善排放至鹼性排氣管道中無法處理異丙醇之
問題，使氨氣和有機氣體去除率達到 95% 以上。 4.4 F12B 改善成果

執行上述改善方式，並且套用此模式至其他有著類似
問題的情況，例如廢水廠等繼續改善。除此之外，
2022 年透過設備擴充和變更操作許可等方式，使單
一空污處理設備單位時間內處理空氣變少，處理效率
提高，F12B 廠區空污排放量已由 2017 年開始逐年減
量，到 2022 年底為止，由 132 噸 / 年→ 19.2 噸 / 年
(如圖8)，已減量 85%。

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