Page 39 - Vol_51

TSMC/ Facility Published

圖 6：酸槽機台尾氣處理流程

結果與分析

4.1 沸石轉輪對混排氣體去除效率驗證
表 3：12P7 VOC706 轉輪入出口陰陽離子濃度量測結果
對於氨氣經過沸石轉輪效率非常重要，若轉輪無法有
入口濃度 (ppbv) 出口濃度 (ppbv)
效去除氨氣，高濃度的氨氣將由有機排放管道排放至
大氣中，恐造成違法問題。 氟離子 N.D N.D
氯離子 4.57 1.03
因工廠內有許多製程的廢氣皆有排放至有機排氣管道
內，我們選擇源頭較為靠近酸槽機台的 VOC 處理設 亞硝酸根離子 1.84 1.57
備，使用衝擊瓶 (Impinger) 測量轉輪入口和出口之
硝酸根離子 0.964 N.D
陰陽離子濃度，量測結果如表3。酸根離子，如氟離
子、氯離子、亞硝酸根、硝酸根、磷酸根和硫酸根等 磷酸根離子 N.D N.D
等，入口濃度皆低於 10ppbv，可以得知混排尾氣在
硫酸根離子 4.21 3.8
經過現址式洗滌塔加液鹼水洗後，酸性氣體大部分已
被去除，不會對轉輪產生侵蝕現象。 銨離子 5950 67.5

至於銨根離子在進入轉輪之前濃度約為 6000ppbv，
但進入轉輪進行吸附作用後，在出口量測的濃度僅剩
下 67ppbv，去除率可以達到 95% 以上，由檢測結果
可知，我們的混排管理方式是能有效處理不同種類的
空氣污染物。

��
��