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VOL.51 廠務季刊 RD 廠區空污混排改善策略與執行成效

3.2 污染源目標確認 3.3 定義排放分類準則

混排現象主要發生在濕式蝕刻製程 (Bench)，該製程 最理想的狀況是從源頭機台進行分流管理，而由對機台出
會在同一腔體內使用酸、鹼和有機化學品來對晶圓進 口風管檢測結果來看分流效果實際上是有限的。較為可行
行加工，其排放流程如圖5 所示，氣體經由雖有設置 的做法是如何在混排已經發生的事實，進行分批處理。
分流設備 (Switch box) 來對製程氣體分別排放，但因
分流效果不佳問題，以及洗滌塔無法有效去除 IPA 等 以下 ( 圖6) 簡單將空污的排放分為下列三種，最為複
問題，使該製程污染物無法有效去除。 雜的是酸、鹼和有機氣體混和排放，酸鹼混排次之，
最單純的為酸氣排放。由表1 可知，洗滌塔對於 VOC
而廢水區桶槽也有相似的問題，因原廢水桶槽抽氣僅 的處理效率較差，所以我們將有含有機氣體的混排廢
簡單的區分為酸性排氣或是鹼性排氣兩種而已，但因 氣排放至有機氣體排放，雖然沸石轉輪可以吸附空氣
為廢水的蒐集相當複雜，各種機台腔體內所排出的廢 污染物，但是酸性氣體卻會對轉輪侵蝕，造成轉輪吸
水，其中含有相當複雜的化學品，例如硫酸、氨氣、 附效果變差，而氨氣不會，所以我們在進入沸石轉輪
異丙醇和丙酮等等，而這些污染物在匯集到廢水桶槽 吸附之前，進行現址式洗滌塔加液鹼水洗，將酸性氣
後，若無法有效的進行處理，除了造成混排問題，亦 體去除。而後文我們將針對轉輪對氨氣的去除效率作
可能產生酸鹼鹽類，導致煙囪排放白煙，使民眾觀感 探討，以驗證此方法之可行性。
不佳，所以廢水區所產生的空氣污染物處理方式顯得
格外重要。 而酸鹼氣體的排放，我們也能利用類似的方法，在進
入中央式洗滌塔之前，對製程尾氣進行加藥水洗去
酸，再排放至鹼性中央式洗滌塔中。而純酸性排氣，
我們也將製程氣體先導入現址式洗滌塔加液鹼水洗，
再排放至酸性中央式洗滌塔，一共經過兩道加藥水
洗，能夠有效的去除高濃度酸性氣體。

下一章節中，我們將依照此準則進行混排問體改善，
並且比較改善前後結果，驗證其改善效率。

圖 5：酸槽機台尾氣處理流程

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