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TSMC/ Facility Published
表 2：各分析儀器分析原理及量測項目
儀器種類 分析原理 分析項目
流動相對固定相中的離子進行洗脫，離子中不同的物質會以不同的速 酸鹼離子
離子層析儀 (IC) 度沿固定相移動，最終達到分離的效果，當移動相通過偵測器時，便
可進行定性及定量的分析。
氣體層析火焰離子偵測器 利用層析管分離有機化合物後再以火焰離子偵測器測定強度後轉換為 有機化合物
(GC-FID) 濃度。
利用層析管分離有機化合物後被下游的質譜分析器捕捉，使離子化、 有機化合物
氣體層析質譜儀 加速、偏向後最終分別測定離子化碎片，依據質荷比 ( 質量 / 電荷比值 )
(GC-MS) 進行篩選偵測，將這些分布情況與各種離子的相對強度作圖，即為質
譜圖並換算濃度。
電感耦合電漿體質譜儀 利用氬電漿所產生的高能量讓樣品同時進行乾燥、原子化及離子化， 金屬
(ICP-MS) 搭配惰性氣體碰撞系統及配有氧氣、氨氣與甲烷的氣體反應系統去除
基質干擾，再經由四極柱進行質量分析。
不透光率儀 (Opacity) 人射光線經過介質而衰減之百分率。 白煙
利用層析管分析有機化合物後再利用惰性氣體真空放電現象所產生的 異丙醇 / 丙酮
氣體層析光離子偵測儀
紫外線 (VUV)，使待測氣體分子發生電離，並通過測量離子化後的氣
(GC-PID)
體所產生的電流強度，從而得到待測氣體濃度。
揮發性有機物微型氣相 利用高濃縮採樣系統、微型氣相層析模組、陣列式感測器從而得到待 異丙醇 / 丙酮
分析儀 (MiTAP) 測氣體濃度。
電化學傳感器通過與被測氣體發生反應並產生與氣體濃度成正比的電 F2( 氟氣 )
F 2 ( 氟氣 )Sensor
子訊號。
總碳氫化合物 / 甲烷 / 非甲烷 FID(Flame Ionization Detector) 以火焰離子偵測器測定強度後以甲 有機化合物
氣體分析儀 (THC Analyzer) 烷為計算基準轉換為濃度。
氮氣化物分析儀 根據化學發光法作為設計原理與被測氣體發生反應並產生與氣體濃度 氮氣化物
(NOX Analyzer) 成正比的電子訊號。
硫氧化物分析儀 根據紫外光螢光法作為設計原理與被測氣體發生反應並產生與氣體濃 硫氧化物
(SO 2 Analyzer) 度成正比的電子訊號。
氣體分析儀以化學發光法量測空氣中 NH 3 氣體濃度，並配備一台外 氨氣
API 氣體分析儀 部熱轉換器與之結合，以先進的處理技術，提供精準且穩定的低濃
度量測。
將空氣傳播的化學物收集到液體介質中。 使用衝擊瓶採樣時，使已知 酸鹼離子
衝擊瓶
體積的空氣經由含有指定液體的衝擊瓶，使定量的空氣起泡，液體會
(Impingers)
與相關的化學物起化學反應或溶解作用
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