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TSMC/ Facility Published

2.2 有機氣體廢氣處理 對半導體廠房而言，製成氣體主要成分包括丙酮、異丙醇
等，而沸石對這類的有機氣體擁有著相當良好的去除效
有機氣體的處理方式非常多種 ( 圖3)，如轉輪吸附、 率，以台積電為例，使用沸石轉輪處理有機氣體，均可以
生物濾床、活性炭吸附以及冷凝回收等等方法，以半 達到 95% 以上的去除效率，可以滿足法規的需求。台積
導體廠房為例，有機廢氣有著低濃度 (<300ppm) 及高 電廠內所使用的有機氣體處理設備主要由沸石濃縮轉輪、
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風量 (50000-100000m /h) 的特性，所以選擇轉輪吸 焚化爐、二次風車、脫附風車所組成，流程圖如圖4 所
附是較為適合的處理方式。 示，有機廢氣經過吸附、脫附之後，再進行三次熱交換升
溫後，最後加溫至約 700℃後焚燒再排放至煙囪。
而轉輪的材質為沸石，沸石最早可追溯到瑞典的礦冶
家 Cronstedt 在 1976 年在天然矽酸鹽類的礦石中發
現 (Colella and Gualtieri, 2007)，沸石為多孔性的
2.3 園區周界污染物
物質，因具有較高的比表面積，可以作為吸附有機物
的材料。吸附是一種複雜的介面化學現象，其機制主 以 12B 廠區歷年煙囪全檢結果來看，煙囪排放量以
要可以區分為物理吸附 (physical adsorption) 和化 NMHC 為最大宗，其次為氨氣，最後酸類主要以硫酸、
學吸附 (chemisorption) 兩類，而物理吸附作用是由 硝酸和鹽酸為主要排放酸類。
分子間的凡德瓦爾力 (van der Waals force) 造成，
吸附質 (adsorbate) 僅停留在吸附劑 (adsorbent) 的 除了廠區內每年的煙囪檢測，在廠區外也已經有需多學
[08] 所
者和機構針對園區周界的空氣進行量測，以張豐堂
表面上，並未進入吸附劑之晶格內，受到壓力降低或
是溫度升高時，吸附質分子因此獲得能量後，能夠破 使用 GC/FID、GC/ECD 和 FTIR 三種量測結果為例，顯示
壞吸附劑和吸附質分子之間吸附的平衡狀態，所以物 園區周界之 VOCs 污染物主要為 IPA、Acetone、BETX、
理吸附是一種可逆現象。 PGMEA 和 Cyclopentance，濃度約為 10~102ppbv。

[06]
圖 3：揮發性有機廢氣處理之相對費用及適用方法

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