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VOL.51 廠務季刊 RD 廠區空污混排改善策略與執行成效
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圖 4：揮發性有機廢氣處理之相對費用及適用方法
研究方法
本研究的目的主要是為了解決煙囪混排的問題，將機 3.1 建置污染物量測機制
台使用的化學品產生的廢氣排放至正確的排放管道，
若是有酸、鹼和有機氣體混排的排放管道，我們則需 在偌大的半導體工廠中，有無數的製程氣體排放管道，
要建立一個如何解決混排問題和決定排放規則的管理 要釐清參考業界和環保署所使用的量測儀器，及以廠
方法，來使空污排放標準化。 內現有的資源來做考慮，以 NMHC 為例，可以利用氣
體層析火焰離子偵測器 (GC-FID) 對屋頂上的煙囪管道
進行量測，找出 NMHC 濃度較高的立管之後，再接著
往上游端使用揮發性有機物微型氣相分析儀 (MiTAP)
和氣體層析光離子偵測儀 (GC-PID) 來對無塵室內的風
管來量測，並且找出 NMHC 的來源。氨氣的量測，在
儀器上可以使用 API 氣體分析儀來量測，但考量到其
體積龐大的缺點，以 TLD-1 來進行量測會是一個較有
效率的方式，能使採樣人員快速確立目標。( 表2)
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