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TSMC/ Facility Published

2.3 Low NOx burner 技術

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根據 L. Bebar 所提出的 Low NOx burner 設計模
型中提到，NOx 的生成與下列這幾個因子有關：燃
燒爐設計、燃燒溫度、滯留時間、燃燒效率、氧氣比
例、N 2 /O 2 濃度、燃料成份等，因此在設計 Low NOx
burner 時最重要的是要避免過高的燃燒溫度，另外
減少過量的空氣進入燃燒爐。( 圖3)

另外分段燃燒技術的設計也可以減少 NOx 的產生，
分段燃燒技術就是將助燃空氣由數個管道供給，此燃
料與部分空氣結合形成 Fuel Rich) 燃燒區，此區域因
氧氣量不足僅會形成少量氮氧化物。分段燃燒的基本
圖 2：燃燒後 NO 與燃燒溫度的關係
原則就是將完全燃燒所需要的空氣 ( 或燃料 ) 分次供
給，以避免完全燃燒所造成的局部高溫。第一段用低
於當量的空氣進入燃燒，氮氧化物因缺少氧氣而減少
生成；第二段再用過量空氣噴入，使燃料在較低溫度
完全燃燒，因溫度較低而減少氮氧化物的生成。( 圖 4)

圖 3：NOx 與燃燒溫度及過量空氣趨勢圖

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