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VOL.51 廠務季刊 先進廠區氮氧化物減量策略

結果與分析

4.1 半導體廠 NOx 排放分佈調查

本研究為詳細調查新建廠區的 NOx 排放量，請九連環
境開發股份有限公司來 F18P2 進行煙囪採樣，量測全
廠區的 NOx 排放量。圖6 為處理不同種空氣污染物煙
囪的 NOx 排放圓餅圖；各煙囪的量測結果如圖7 所示。
由圖6 可知，先進廠區的 NOx 排放量約為 112 噸 / 年。
其中 NOx 排放的大宗為 SEX 煙囪所排放，約 83 噸的
NOx，占比 75%。第二名的排放為 SEB 煙囪所排放，
排放約 18 噸的 NOx，占比 15%。第三名的排放為 圖 6：F18P2 各系統煙囪 NOx 排放濃度比例
VEX 煙囪所排放，排放約 10 噸的 NOx，占比 10%。

4.2 LSC NOx 排放分佈調查

本研究為了更進一步了解 SEX 內的 NOx 排放，我們
利用煙道量測儀器 Testo 350 針對排放入 SEX 且有
配置 LSC 的 93 組製程進行普查，量測結果如圖8 所
示， NOx 的排放比例與各種類型的 LSC 的關係如圖9、
表2 所示。結果顯示燃燒式 (DAS Escape, Styrax) 與
電漿式 (EDW Proteus) 的 NOx 排放占比約佔總排放
量 80% 以上，以上兩種類型的 LSC 排放量高的原因
為需要處理穩定性高的碳氟化物，因此會需要使用較
高的處理溫度，進而增加 Thermal NOx 的排放，與
前面的文獻探討理論所述相符。

4.3 LSC De-NOx 改善成果
圖 7：F18P2 煙囪 NOx 排放濃度分布圖
各款 LSC 經由 De-NOx 設計改善後，LSC outlet NOx
排放大幅降低，其中燃燒式及電漿式原始設計對於
PFCs 有很好的處理效率，透過 De-NOx 技術改善後，
有效抑制 NOx 生成，大幅減少二次污染產生。

4.4 推估新廠區改善後 NOx 排放量

根據表3 發現各款 LSC 對於 NOx 改善有著顯著的效
果，將此改善成果回推新廠的排放量可以得到單一廠
區 LSC NOx 排放量由原先 85.2 噸 / 年降低到 32.8
噸 / 年，整體減量 61.5%。

圖 9：各 LSC 機型 NOx 排放比例

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