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VOL.51 廠務季刊 先進廠區氮氧化物減量策略
結論
本研究首先針對半導體廠 NOx 排放分佈進行調查，
了解主要貢獻來源來自 LSC 的尾氣排放，同時往下
普查各類型 LSC 的尾氣 NOx 濃度發現處理溫度越
高的機型，對應的出口 NOx 排放量也越高，與文獻
所述高溫亦產生 thermal NOx 得到相同驗證，各類
型 LSC 再藉著不同 De-NOx 設計原理來達到減量效
果，以此成果來推估未來新建廠區的排放量可由原先
85.2 噸 / 年降低到 32.8 噸 / 年，整體改善 61.5%，
藉由這些 De-NOx 設計，可以避免處理 PFCs 等氣體
所造成的二次污染，對於整體空污排放減量有著顯著
貢獻。
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