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TSMC/ Facility Published

表 1：LSC De-NOx 技術

❶燃燒氣燃比控制 ( 低氧燃燒法 ) H 2 O + NO + NO 2 → HNO 2 + HNO 2
當環境溫度高時如氧氣量多，增加氮和氧氣反應生成 H 2 O + N 2 O5 → HNO 3 + HNO 3
氮氧化物。 HNO 2 + NO 3 → HNO 3 + NO 2

- HNO 2 + O 3 → HNO 3 + O 2
N 2 + O 2 ↘→ 2NO ↘
❷還原法 ❹均勻燃燒法

藉由添加 CH 4 來與目標物反應，來降低所需反應溫度， 以載流氣體來提升反應腔混溫效果，藉此來降低局部
[06]
而出口段的 CH 4 可以將 NOx 還原成 N 2 與 CO 2 。 高溫區域面積同時能改善局部低溫 ，此方法除了能
減少局部高溫產生的 NOx，還能提升特氣處理效率，
CH 4 + 4N 2 O→4N 2 + H 2 O + CO 2 ； 使反應腔整體燃燒溫度更均勻。( 圖5)
NOx + CH 4 →N 2 + CO 2 + H 2 O

❸氧化法

藉由添加雙氧水或臭氧等氧化劑來氧化 NOx 形成硝
酸，再藉由水洗裝置來去除。

· 雙氧水氧化反應式 :

2NO + 3H 2 O 2 → 2HNO 3 + 2H 2 O；

2NO 2 + H 2 O 2 → 2HNO 3

· 臭氧氧化反應式 :

NO + O 3 → NO 2 + O 2
圖 5：DAS STYRAX 均勻燃燒技術
NO 2 + O 3 → NO 3 + O 2
NO 2 + NO 3 → N 2 O 5

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