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TSMC/ Facility Published

前言 文獻探討

近年空氣污染日益嚴重，細懸浮微粒濃度飆高，空氣 2.1 懸浮微粒特性與種類
品質經常達到「紫爆」。而世界衛生組織研究報告，
懸浮在空氣之中的 PM2.5，可能已與氮氧化物、硫氧 懸浮微粒泛指漂浮於空氣中之微小固體或液滴，其中
化物或其他金屬元素及有毒微生物混合；因直徑極小， 具氣動學定義粒徑小於或等於 2.5 微米之懸浮微粒稱
可輕易穿透人體呼吸系統到達細支氣管壁；甚至穿過 之為 PM2.5，長時間暴露可能誘發呼吸道疾病、肺
肺泡而進入血管之中，隨血液輸送，以至影響全身各 功能反應及心肺疾病 ( 圖1)。由於粒徑極小特性，可
器官，同時會增加呼吸疾病的及死亡率。 能深入生物體肺泡後，透過血液輸送影響生理機能運
作。而世界衛生組織已將懸浮微粒列為具有確切致癌
而本次研究結果顯示，Polymer/PR Stripping 濕製 性之第一級 (Group 1) 致癌物，我國行政院環保署也
程使用的高溫硫酸 (SPM) 與 NH 4 OH，容易於 Local 於民國 109 年再次修訂空氣污染防制法第五條第三項
Scrubber 排氣端量測到硫酸銨鹽粒狀物，粒徑又 規定，據空字第 1091159220 號號令修正發布 ( 表1)。
以 PM0.1~2.5 佔比最高 (84%)。而本次使用之 Salix
Local Scrubber 導入低壓損、極細網目除霧層，使
Salix 增加水氣捕捉能力，同時提升粒狀物處理效率。

圖1 ⒝：長期 PM2.5 暴露非傳染性疾病和下呼吸道疾病
[01]
圖1 ⒜：長期暴露於 PM2.5 且非傳染性疾病死亡率 [01]
的死亡率

表 1：各項空氣污染物之空氣品質標準規定 [02]

項目 標準值 單位
粒徑小於等於十微米 (μm) 日平均值或二十四小時值 100 3
μg/m ( 微克 / 立方公尺 )
之懸浮微粒 (PM10) 年平均值 50
粒徑小於等於 2.5 微米 (μm) 二十四小時值 35 3
μg/m ( 微克 / 立方公尺 )
之細懸浮微粒 (PM2.5) 年平均值 15
小時平均值 0.075
二氧化硫 (SO 2 ) ppm( 體積濃度百萬分之一 )
年平均值 0.02
小時平均值 0.1
二氧化氮 (NO 2 ) ppm( 體積濃度百萬分之一 )
年平均值 0.03
小時平均值 35
一氧化碳 (CO) ppm( 體積濃度百萬分之一 )
八小時平均值 9
小時平均值 0.12
臭氧 (O 3 ) ppm( 體積濃度百萬分之一 )
八小時平均值 0.06
3
鉛 (Pb) 三個月移動平均值 0.15 μg/m ( 微克 / 立方公尺 )
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