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TSMC/ Facility Published

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圖 3：濕式蝕刻高溫硫酸製程化學品使用程序

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圖 4：濕式蝕刻高溫硫酸製程機台排氣改管及灑水示意圖 ( 改善後 )

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圖 5：濕式蝕刻高溫硫酸機台排氣分流改善結果 (2016 年 2 月 12 日 )

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