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VOL.51 廠務季刊 Salix 應用於 Polymer/PR Stripping 之銨鹽類霧滴捕捉能力提升與 VOCs 流向展望

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圖 6：深層式濾網桶

研究方法 3.2 Salix 加藥水洗式 Local Scrubber
探討與除霧器改良

而應用於 N5/3 廠的 Salix local scrubber( 圖8)，取
3.1 Local Scrubber 出口粒徑分布與組 經於中科 FSI 主機台管路分流概念，入口配置 4 至 12
成物解析 支專管，將主機台腔體的製程氣體獨立導入 Salix 內，
並在配有預水洗段降低進氣口堵塞；在第一水洗段與
Polymer/PR Stripping 濕 製 程 使 用 Wet Bench 常
第二水洗段分別充滿填充材料與噴淋灑水頭，使氣體
見的高溫硫酸 (SPM) 與 NH 4 OH，在導入 Salix local
與液體相互接觸時，以分子擴散方式透過液膜進入液
scrubber 後已實現不同腔室進行分流管理，但若硫酸
相本體。並提供酸、鹼化學品的添加，進行大表面積
離子根與氨離子不進行有效捕集，最終仍會於 Salix
的逆噴洗清。位於兩段水洗段間的除霧器則是用來防
內混合生成白色鹽類粒狀物吹送至排氣端，其化學反
止兩槽循環水混合與捕捉粒狀霧滴的重要元件。
應式如下：
藉由研究資料顯示，多半的硫酸銨粒狀物多半小於
H 2 SO 4 + 2NH 4 OH → (NH 4 )2SO 4 + 2H 2 O
PM2.5 以下，而配置於 Salix 槽一的 Chevron type
除霧器設計，係透過慣性與重力撞擊除霧器上的葉片
透過 MOUDI 多階衝擊器分析得知，Salix 排氣出口
匯集成水流進行捕捉，而甜蜜點為 PM15.0~30.0 的
仍 有 73% 0.1~1.0µm 的 白 色 粒 狀 物； 而 其 中 利 用
粒狀物。藉此得知，若將該除霧器借鏡水渦流機內深
Denuder 採樣分析，酸性物質又以硫化物佔大宗，據
層式濾網或改良更細緻的網目，即可達到不需另闢空
主機台使用化學成分觀察與解析，多半均以銨鹽類粒
間新增設備且降低硫酸銨粒狀物排放的效果。
狀物逸散 ( 圖7)。

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