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廠務季刊 Facility Journal 2023

Salix 應用於 Polymer/PR Stripping 之銨鹽類霧滴捕捉能力
提升與 VOCs 流向展望

Discussion of the ability of Salix to capture ammonium salt droplets and
the outlook of VOCs flow at Polymer/PR Stripping process.
文││蔡宗偉 廖家偉│台南廠務八部

摘要

摘要 Polymer/PR Stripping 濕製程使用 Wet Bench 常見的高溫硫酸
(SPM) 與 NH 4 OH，並同時利用 IPA 洗滌 Wafer 表面，故在製程
1. 前言
尾氣處理具有酸性氣體與有機物 (VOCs) 混排問題，也因其中混
2. 文獻探討 雜著高溫硫酸與氫氟酸，以致不利於直接進入有機性排氣系統
(VEX) 的燃燒，並可能對於廠區有機物抵禦產生負面影響。故本
2.1 懸浮微粒特性與種類
研究強化 Local Scrubber Demister 除霧能力，藉以提升 Salix
2.2 現行 Wet Bench 粒狀物 對於銨鹽類粒狀物與酸性霧滴捕集能力，一來降低 Salix 出口酸
防治機制 性氣體濃度，二來希望藉此將該製程尾氣一併導入有機性排氣
系統進行燃燒管理。
3. 研究方法
關鍵詞 : Salix、硫酸、PM2.5 懸浮微粒、有機物、酸性洗滌塔
3.1 Local Scrubber
For Bench、除霧器
出口粒徑分布與組成物解析
The high-temperature sulfuric acid(SPM) and NH 4 OH, which
3.2 Salix 加藥水洗式 Local
are common in Polymer/PR Stripping function, and usually
Scrubber 探討與除霧器改良
using IPA to wash the surface of the wafer at the same time.
4. 結果與分析 Therefore, there is a problem of mixed high temperature acid
gases and VOCs on SEB system. Sulfuric acid and hydrofluoric
5. 結論 acid might causing VEX system damage. So we improve the
capability of demister on Salix local scrubber to capture more
參考文獻
ammonium salt particles and acidic mist droplets. Not only
作者介紹 reducing the concentration of acid gas at the outlet but also
hoping that this process exhaust gas will be introduced to VEX
for combustion management.
Keywords : Salix, H 2 SO 4 , PM2.5, VOCs, SEB, Demister

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