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TSMC/ Facility Published

結論 作者介紹

目前串接於 Polymer/PR Stripping 製程的 Salix 其 蔡宗偉 C.W. Tsai
製程尾氣多往 SEB SCR 處理，其中主機台所使用的
一位熱愛內燃機的偏執工程師，閒暇之
IPA 一直未往 VEX 系統進行燃燒，此配置亦可能成為 餘就是翻新老車、拆裝引擎或吸取相關
頂樓空污自產自銷的隱憂；而選擇不直接將處理後的 的燃燒知識。在這內燃機逐漸式微的年
氣體送往 VEX 系統的原因，即是擔心製程所使用的高 代，還希望還盡一己之力，保留這些逐
漸違背世道發展的老物得以緬懷。
溫硫酸會將 VOC 的沸石轉輪污染與破壞。希冀藉由
Salix 出口硫酸的減量，達成該製程之製程尾氣送往
廖家偉 C.W. Liao
VEX 系統，同時降低煙囪硫酸與 VOCs 排放量。
於台積公司任職超過 17 個年頭，致力
由文獻回顧得知，Salix 對於 PM2.5 以下的硫酸銨鹽 於廠務系統穩定運轉、節能、空污改善
等專案，並樂於到民間做節能志工服務，
類粒狀物的補集效果較差，探究其原有 Chevron 除霧
到了 F18 廠 (N5/N3) 接受更大的挑戰，
器相對不符合現今使用條件，造成出口硫酸排放量過
與一群年輕人共同打拼，分享經驗且找
高現象。而透過安裝 BlueFil MX99-2 內 2 ㎛除霧層 出突破機會點。
於原有除霧器前，除了可以改善 Salix 槽一與槽二循
環水交叉污染問題，亦可提升 Salix 對於硫酸的處理
效率，單台處理效率可提升約 25%，由原先 50~55%
的處理效果上升至 78~84%，對於持續加嚴的環保法
規必有極大的挹注。

參考文獻

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