Page 88 - Vol_51

廠務季刊 Facility Journal 2023

現址式燃燒洗滌塔 NOx 減量
Burn Type Local Scrubber Decrease NOx Emission

文││江昱慶│台南廠務八部

摘要

摘要 目前廠內現址式燃燒洗滌塔 (Burn Type Local Scrubber)
主要處理全氟化合物 (PFC)，因其處理溫度較高，容易
1. 前言
產生副產物 -NOx，本文將以降低處理溫度及減少反應
1.1 研究動機 物兩方面探討，在符合廠內破壞去除效率 (Destruction
Efficiency, DRE) 規範下，減少 NOx 排放量，以 FTIR 實
1.2 研究之重要性
際量測在不同操作參數下，處理 N3 製程廢氣的 DRE 及
1.3 研究目的 NOx 排放量。
2. 文獻探討 根據實際運用的 NOx 減量方法，測試結果可減少 71.5%
的 NOx 生成，每台年減量可達 0.25ton，未來希望能將
3. 研究方法
之推廣至其餘 Local Scrubber 機型，甚至其餘 VOC 等高
3.1 NOx 減量原理 溫設備，朝空污零排放目標邁進。

3.2 廠內 LSC 改善 Function 設計 關鍵詞 : NOx、DRE、FTIR、副產物
3.3 LSC 去除效率 DRE 規範
At present, the burn type local scrubber in the plant
mainly treats perfluorinated compounds(PFC). Because
3.4 DRE 量測儀器介紹 -FTIR
of its high processing temperature, it is easy to produce
4. 結果與分析 by-products-NOx. This article will discuss the reduction
of NOx emissions in compliance with destruction
4.1 廠內 N3 Thin Film Function DRE
efficiency(DRE) specification by reducing the treatment
量測結果 temperature and reducing the reactants. Using FTIR
to measure the DRE and NOx emissions of N3 process
4.2 廠內 N3 ETCH Function DRE
waste gas under different operating parameters.
量測結果
According to the actual application of NOx reduction
5. 結論 method, the test results can reduce the generation of
NOx by 71.5%, and the annual reduction of each unit
參考文獻 can reach 0.25 ton. Hope to extend it to other Local
Scrubber models, and even other high-temperature
作者介紹
equipment such as VOC. Towards the goal of zero
discharge.

Keywords : NOx, DRE, FTIR, by-product

��
��