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TSMC/ Facility Published

圖 3：ACC Function 原理示意圖

3.3 LSC 去除效率 DRE 規範

因較高的處理溫度較易產生副產物 -NOx，故 所規定之易燃性、發火性、腐蝕性、毒性氣體及溫室
本文以燃燒式 LSC 作為討論對象，並根據台 氣體 - 全氟化物、一氧化二氮 (N 2 O) 等的破壞去除效
積 電 O.I.《M-C00-16-03-002》300/200MM/ 率 (destruction removal efficiency, DRE) 如 表 1，
FAR BACKEND TOOL/LOCAL SCRUBBER ESH 在保持 DRE 符合規範的條件下，藉由調整 LSC 操作
SPECIFICATION FOR PURCHASING AND USED 參數 ( 平均溫度、過量空氣係數 )，降低 LSC 產生的
TOOL ESH SPECIFICATION FOR PROCUREMENT 中 NOx 濃度。

[07]
表 1：各氣體分類 -LSC 去除效率規範
氣體分類 常用特氣 LSC 去除效率規範
Toxic Cl 2 、F 2 、PH 3 出口濃度 <1 STEL or DRE >99%
Flammable H 2 、SiH 4 、PH 3 出口濃度 <0.1 LEL
Pyrophoric SiH 4 、DCS(SiH 2 Cl 2 ) 出口濃度 <0.1 LEL
Corrosive HF、Cl 2 、ClF 3 出口濃度 <1 STEL or DRE >90%
DRE>90%
CF 4
PFC
DRE>95%
C 2 F 6 、CHF 3 、C 4 F 8 、C 5 F 8 、SF 6 、C 3 F 8 、NF 3
N 2 O N 2 O DRE>90%

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