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TSMC/ Facility Published

研究方法

3.1 DCS B-type 鋼瓶氣櫃供應系統設計 3.2 DCS PCM 氣櫃供應系統設計

DCS B-type 鋼瓶氣櫃為一般初始典型設計，與其他 供應 EPI 製程之 DCS GC 依然保有盤面加熱與保溫棉，
大多數特氣供應模式相同，包含B-Cylinder/ GC盤面/ 但為達成其低壓氣體大流量之供應需求，引進 PCM
SP1/ SP2/ VMB，特別處為 DCS 氣櫃盤面管路具有加 (pressure control module) 於供應模式，其中 PCM 使
熱系統且盤面/ SP1/ SP2管路皆有增設保溫棉。盤察 用 MFC 取代調壓器並藉著 Controller 以閉迴路迴授控
F14B 特氣系統鋼瓶/ 氣櫃/ SP1/ SP2/ VMB加熱/保溫 制方式不間斷比對實際壓力與設定壓力 ( 圖5)，隨時以
表格，由表1 可知 F14B 供應 DIF 製程皆使用 B-type MFC 調整氣體流量達成 buffer tank 壓力穩定，同步 GC
氣櫃供應，盤面加熱至 35℃，實際供應如圖4。 B-cylinder 設有磁波加熱功能 35℃、PCM 管路 45℃ &
MFC 48℃，藉由升溫機制與壓力控制模組使 DCS 供應
壓力更加穩定，PCM 實際照片與卡通圖參閱圖 6、圖 7。

表 1：F14B Specialty gas system鋼瓶/氣櫃/SP1/SP2/VMB加熱/保溫表格
Name Type Cylinder GC SP1 SP2 VMB/P Remarks
氣櫃pigtail box & 氣櫃盤面管路
CO 2 (5N) →保溫棉/Panel heater(35℃)
BSGS NA NA NA NA
(Y-cyl) Pre-heater1(130℉)(54℃)
Pre-heater2(110℉)(43℃)
氣櫃pigtail box & 氣櫃盤面管路
HCl 氣櫃出口至管溝前
→保溫棉/Panel heater(35℃)
L:Toner BSGS NA (保溫棉) NA NA
Pre-heater1(130℉)(54℃)
R-Trailer 出管溝/FAB:NA
Pre-heater2(110℉)(43℃)
氣櫃pigtail box & 氣櫃盤面管路
→保溫棉/Panel heater(35℃)
L&R Trailer BSGS NA NA NA NA
Pre-heater1(130℉)(54℃)
Pre-heater2(110℉)(43℃)
氣櫃pigtail box & 氣櫃盤面管路
→保溫棉/Panel heater(35℃)
NF 3 (Trailer) BSGS NA NA NA NA
Pre-heater1(130℉)(54℃)
Pre-heater2(110℉)(43℃)
氣櫃pigtail box & 氣櫃盤面管路 氣櫃出口至管溝前
NH 3 (Y-cyl) BSGS NA →保溫棉/Panel heater(35℃) (保溫棉) NA NA
Pre-heater1(80℉)(27℃) 出管溝/FAB:NA
Pre-heater(200℉)(93℃)
SiH 4 (Y-cyl) BSGS NA NA NA NA
Regulator heater(85°F)(29℃)
HBr Corrosive NA Panel heater(35) NA NA NA
氣櫃盤面管路
DCS 磁波加熱 →保溫棉/Panel heater(35℃)
Flammable 保溫棉 保溫棉 NA
(EPI/PCM) (35℃) PCM 磁波加熱: 管路(45℃)& MFC(48℃)
Buffer tube(保溫jacket)
氣櫃盤面管路
DCS(DIF) Flammable NA 保溫棉 保溫棉 NA
→保溫棉/Panel heater(35℃)
Water jacket
Local NA 保溫棉 NA NA
BCl 3
/17℃ PCW
保溫棉/
保溫棉/加熱帶 保溫棉/加熱帶
HF Local NA 加熱帶 NA
(35℃) (35℃)
(35℃)
保溫棉/
Water jacket 保溫棉/加熱帶 保溫棉/加熱帶
Local 加熱帶 NA
SiCl 4
/17℃ PCW (35℃) (35℃)
(35℃)
Water jacket without
Local NA 保溫棉 NO NO
WF 6
/17℃ PCW VMB/P
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