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TSMC/ Facility Published
圖 7：DCS PCM 氣櫃供應系統卡通圖
3.3 DCS Toner 大包材氣櫃供應系統設計
EPI 製程使用 DCS 生長矽層時一次即為多片數同 頻率，引進原物料大包材 Toner 設計 ( 滿瓶 880lb)，
時生長，因此用量遠大於 DIF 製程，但原始 DCS Toner 設 計 量 為 B-cylinder 10.8 倍， 成 功 降 低 原
B-cylinder 設計量較小 ( 滿瓶 81lb)，導致 EPI 使用 物料鋼瓶更換頻率節省人力約 550 小時/年，B 鋼與
鋼瓶更換頻率高造成額外人力負荷，為減少鋼瓶更換 Toner 設計供應比較如圖8 所示。
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圖 8：B 鋼與 Toner 設計供應系統比較
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