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VOL.52 廠務季刊       二氯矽烷供應系統之冷凝現象探討













                                                                   DCS-GC              DCS-PCM
















                                                                           DCS-GC CYL.磁波加熱













              圖 4：DCS B-type 鋼瓶氣櫃 ( 含管路保溫棉 )




                                  As Is




                                                                      DCS-PCM Buffer tank(保溫jacket)









                                 To Be















              圖 5：Regulator vs. PCM(pressure control module)  圖 6：DCS PCM 氣櫃供應系統實際照片


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