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VOL.52 廠務季刊 二氯矽烷供應系統之冷凝現象探討

另 外 針 對 DCS toner 瓶 身 磁 波 加 熱 進 行 F14B P56 振幅有效縮小，提升 D 值可防止設備大用量情況溫度
PID 參數比較與實驗 ( 如表3)，發現 PID 參數最適化 加熱追溫效率不足，參數適性化後加熱溫度的改善程
後可穩定磁波加熱之溫度，調低 P 值可改善反應速度 度表現如圖 12 所示。
讓曲線更加平滑，調升 I 值可提升曲線穩定度使溫度

表 3：F14BP56 DCS toner 瓶身磁波加熱 PID 參數設定

DCS toner瓶身磁波加熱PID比較 P5 PID 參數修改
參數 說明 601-R
P5 P6 (20220905修改完成)

P(%) 反應速度 6 3 6 → 3
I(sec) 穩定度 60 397 60 → 397

188 → 90
D(sec) 遇突然大用量掉壓回穩 188 90 90 → 188
(follow原廠建議9/20修改觀察)

tc1(sec) 工作週期 15 30 15 → 30
功率參數 原廠建議30~35%
PHC1(%) 新加熱控制器(5000KW) 35 65 先微調至50%觀察
舊型(3500KW) 35% → 50%

圖 12：DCS Toner 磁波加熱 PID 參數適性化後加熱溫度的表現

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