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VOL.52 廠務季刊 二氯矽烷供應系統之冷凝現象探討

結論 作者介紹

影響氣體冷凝重要因素為壓力、溫度與閒置效應，其 楊中星 Jhong-Sing Yang
中二氯矽烷氣體若冷凝將導致濃度異常影響晶圓膜厚
於南科廠務負責氣體、化學品、研磨液
產生報廢，因此其穩定供應的重要性不可忽視，統整 的供應系統，期待未來能持續找到廠務
三點有效預防冷凝之措施：➀調低氣體供應壓力遠 系統更加穩定運轉的方式，也謝謝南科
離冷凝曲線；➁磁波加熱/ 加熱盤/ 保溫棉硬體設置 廠務夥伴的指導與包容。
且優化 PID 參數穩定溫度控制產生溫度加熱梯度結
郭冠良 Kuan-Liang Kuo
果；➂ dead zone 的檢視可借鏡 F14P5 經驗並透
主要負責廠務氣體供應系統，致力於系
過移除現場實際未使用之管路來成功避免冷凝，以
統穩定供應與相關運轉經驗傳承，特別
上條件皆留意將可大幅提升廠務易冷凝之氣體系統
感謝廠務夥伴及前輩們的指導與協助，
供應穩定性。
事情永遠是想起來全是問題，做起來全
是答案，繼續加油。

參考文獻

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