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VOL.52 廠務季刊 新成廠化學供應系統快速驗機方法與實務

[02]
表 1：清洗後桶槽金屬不純物取樣結果
取樣備註 UPW 初洗驗證 H 2 O 2 驗證 UPW 驗證
取樣日期 2021/12/24 2021/12/25 2021/12/30
化學品名 UPW H 2 O 2 31% UPW
樣品批號 211228-1800-01 211229-1000-02 211230-0900-01
桶號 TVT211224A TVT211224A TVT211224A
分析項目 LSL 單位 分析結果 分析結果 分析結果
Assay % 30.96
TOC ppm 0.1 1.95 0.1
Aluminum [Al] ≦ 10 ppt 1 2 1
Calcium [Ca] ≦ 10 ppt 42 6 3
Chromium [Cr] ≦ 10 ppt 1 1 1
Cobalt [Co] ≦ 10 ppt 1 1 1
Copper [Cu] ≦ 10 ppt 1 1 1
Iron [Fe] ≦ 10 ppt 1 6 1
Lead [Pb] ≦ 10 ppt 1 1 1
Magnesium [Mg] ≦ 10 ppt 9 1 1
Nickel [Ni] ≦ 10 ppt 1 1
Potassium [K] ≦ 10 ppt 28 1 1
Silver [Ag] ≦ 10 ppt 1 1 1
Sodium [Na] ≦ 10 ppt 163 1 2
Zinc [Zn] ≦ 10 ppt 12 2 1
Total Metal ≦ 100 ppt 262 25 16

2.1.2 槽體清洗劑效能
[03]
探討化學品對於桶槽內襯清洗效果 ，華爾卡使用雙
氧水作為桶槽清洗劑，在這裡扮演的角色是一個氧化
劑與消毒劑。作為氧化劑，雙氧水能夠分解蛋白質、
脂肪和其他有機物質，可以有效去除桶槽表面的有機
和無機污垢；作為雙氧水具有一定的殺菌和消毒作用，
經由破壞細菌、病毒和其他微生物的結構，減少其數
量並控制微生物的生長。

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