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TSMC/ Facility Published

表 1：25%TMAH 混酸及 2.38%TMAH 槽車分析廢液排放比較

顯影劑供應系統比較
供應模式 25%TMAH 混酸 2.38%TMAH 槽車供應
單槽 / 桶可供應量 (L) 2310 6600
單次分析排放廢液 (L) 1 10
分析作業頻率 ( 次 / 天 ) 9 0.33
排放廢液 (L/ 天 ) 9 3.3

圖 4：電子表單建置的 5 項目標 圖 5：電子表單雲端抓取數值示意圖

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