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TSMC/ Facility Published

前言 文獻探討

F8 從世大積體電路製造公司建廠至今已運轉逾 20 年， 2.1 25%TMAH高風險化學品接觸危害案例
隨著半導體製程不斷進步工廠對於環保及職安的觀念
也隨之上升，如何突破現有作業環境限制達到提升綠 根據行政院環保署統計自 2007 年至今台灣工廠發生
色製造並改善現場作業風險，成為廠務面臨的一大課 多達 35 起的化學品 / 氣體洩漏導致人員傷亡及環境
題。本文主要在分享 F8 如何於不影響工廠生產的前 危害 [01] 其中包含兩起 TMAH 接觸事件造成三名人員
提下，突破現有老舊設備限制，減少廢液排放並提供 死亡，從接觸到死亡僅半小時。截至 2021 年台積電
安全的工作環境。 只剩下 F8 使用 25% TMAH(KTM-25P)，TMAH 含有
+
−
−
OH 基及 TMA 基，OH 基使 TMAH 為鹼性且具腐蝕
+
文章中將本次目標分為兩個主題攻堅 : ➀隨著 F8 黃光 性可對人體造成化學性灼傷；TMA 基為神經毒素會
製程轉換，顯影劑由 KTM-25P 轉換為 NMD-3 2.38%， 抑制呼吸肌肉功能，導致呼吸停止、心跳減緩嚴重至
廠務藉此機會將擾人的高風險化學品 25%TMAH 消 腦部缺氧死亡，高濃度 TMAH 接觸皮膚因強鹼性腐蝕
滅，供應模式由混酸機制改為槽車灌充供應，減少 皮膚後加快神經毒的吸收使受災者於 15~30 分鐘後產
TCM 每日更換 25%TMAH 化學桶作業負擔，並從其 生急性中毒 [02] ，甚至呼吸及心跳停止而導致死亡。
中達到減少廢液排放的目標；➁配合廠內 4G 網路全
面升級，廠務作業電子化表單 (Facility e-Operation
2.2 氣體洩漏危害案例及防範
Management, FeOM) 上線使用，取代現行紙本表單
解決儲存困難及查找資料不易的問題 ( 圖1)，紙本表 更換鋼瓶程序非常繁瑣且需要大量人為判讀操作的步
單儲存佔據空間且人員查找資料時需逐頁檢視曠日費 驟，稍有不慎就會因為判讀誤差導致氣體洩漏。氣體
時。紙本表單數值需由 TGM 手動抄寫，填寫錯誤或 洩漏事故會造成眾多財物損失甚至人員傷亡 [03] ，以
是超過規格而未察覺。電子表單改善 TGM 現場抄寫 1984 年印度博帕爾事件為例 : 農藥廠洩漏異氰酸甲
數值錯誤及人為判讀風險。e.g. 氣瓶櫃鋼瓶更換表單 酯，瞬間死亡人數達 2,259 人，大約 8,000 人於接下
由紙本留存改為雲端抓取 SCADA 各項數值並儲存於 來的兩周內喪命，並且有數萬人永久殘疾 [04] 。氣體洩
網站，忠實紀錄更換步驟每一筆數值。將此項技術展 漏的防範是非常重要的課題。
開至所有廠務例行性更換作業舉凡化學槽車灌充、廢
液抽清、氣體槽車更換等，減少紙本表單的使用並提
2.3 電子化表單契機
升查找資訊的便利性。
在資訊發達的時代，使用電子化表單管理現場資訊已
經是不可避免的趨勢，不僅可減少儲存紙本資料的空
[05]
間並且具備快速查找資料的便利性 。探討使用電子
化表單系統直接雲端抓取廠務監控系統 (supervisory
control and data acquisition, SCADA) 數 值， 排 除
[06]
人為誤判的可能性 。

圖 1：經年累月紙本作業表單查找不易

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