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TSMC/ Facility Published

4.2 智能系統電子表單達成氣體洩漏防範成效

將各項作業表單電子化，並建立廠務電子表單管理平台 電子化表單上線後，TGM 刷取氣瓶櫃條碼後可自動引
(FeOM)( 圖7) 彙整各項作業表單 : 鋼瓶更換、化學桶更 導出對應氣瓶櫃更換表單，可依據表單指示逐步操作
換、氣體槽車更換、廢液抽清及小瓶酸借還管理，提供 氣瓶櫃 ( 圖 9)，相關作業壓力規格皆內建於表單，若
快速及便利查詢功能，提升自動化管理機制。配合廠區 是輸入壓力不符無法繼續執行表單，取代人腦自行判
iPad 應用及 4G 網路升級，建立 FeOM 應用程式供現場 斷的錯誤機會。
人員使用 ( 圖8)。

圖 7：FeOM 網頁介面 圖 8：FeOM iPad 介面

圖 9：電子表單應用邏輯說明

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