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VOL.52 廠務季刊 老廠翻新，突破現有桎梏創造綠色及安全工作環境

實驗方法

3.1 25%TMAH混酸系統與2.38%TMAH 人員抄寫誤差導致程式誤判的風險。後續與 FMCS 合
槽車供應系統架構比較 作開發雲端抓取 SCADA 數值功能，電子表單直接抓
取氣瓶櫃數值避免人員自行填寫的錯誤 ( 圖5)。
F8 早期顯影劑供應模式為將 25%TMAH(KTM-25P) 以
DI 稀釋至 2.38% 後供應至線上機台。因應黃光製程轉
換需求新原物料 NMD-3，廠務藉此機會導入 NMD-3
槽車供應取代高風險 25%TMAH 混酸系統 ( 圖2)。
原 25%TMAH 混酸系統採逐步漸進式混酸，取樣量測
濃度後補償 TMAH 原液再次取樣量測直至達到需求濃
度，平均一次混酸需約 2~3 次補償 ( 圖3)，導致額外
的分析廢液排至水課 TMAH 放流系統，若變更為使用
槽車供應僅需灌充前沖洗 >3 分鐘後取樣送測，可避免
額外化學品浪費。

3.2 顯影劑供應系統不同架構中找出減
廢契機

依據實驗當時 2022/02 F8 顯影劑用量為 2,200L/Day，
依 據 混 酸 比 單 桶 220L 25%TMAH 可 混 酸 為 2,300L
2.38%TMAH 供應，平均一天需更換一桶 25%TMAH，
每日約需完成混酸 3 筆，然而因為採取階段式混酸，
取樣分析而排放廢液約 9L/Day。單台 NMD-3 槽車供
應量為 6,600L，使用量約 3天/車，單次取樣送測排放
廢液約為 10L，排放量約為 3.3L/Day，改為槽車供應
可達成減少廢液排放 171L/Month 的成效 ( 表1)。
圖 2：F8 顯影劑供應示意圖

3.3 開發智能系統電子表單

既有紙本表單建立至電子化系統後，現場人員依照電
子表單說明操作，降低操作風險，電子表單的建置具
有五項目標 ( 圖4) : ➀紀錄更換原物料 : 紀錄原物料
Barcode，並建立原物料過期提醒機制；➁操作人員權
限管理 : 經過認證完成人員方可登入使用電子表單；➂
氣櫃保壓規格管理 : 表單內建程式管制不同氣體不同測
漏規格，避免人為誤判；➃現場作業表單 : 針對不同類
型氣瓶櫃可對應不同作業表單；➄各項作業表單管理 :
廠務電子表單集中於網站管理，可隨時查找資料。

3.4 電子表單雲端抓取數值應用

各項表單電子化後，已完成將現場表單留存於 FeOM
網站供隨時查詢調閱之成效，但表單中各項數值仍需
由現場作業人員自行填寫，無法忠實呈現數值，存在 圖 3：F8 2.38%TMAH混酸步驟

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