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TSMC/ Facility Published
(a) 酸 / 氟房房間溫度 (b) 燃燒性氣體房溫度
圖 4：HPM 房間溫度
2.3 極寒天氣下氣體偵測系統頻繁作動
同樣因為部分防爆間位元於菜籃區，氣體偵測系統 圖5(a)、圖5(b))。GMS 通過取樣管的樣品會經過化
(Gas Monitor System, GMS) 取樣管路會經過戶外， 學試劑 Chemcassette 紙帶，如果樣品與紙帶發生反
容易在極寒天氣下產生冷凝水，造成 GMS 警報頻繁 應，紙帶會出現色斑，並回饋光學信號觸發警報。而
觸發。依照標準化處理流程，GMS 觸發後需要成立緊 液體冷凝水進入取樣管經過紙帶時，會潤濕紙帶同樣
急應變小隊 (ERT) 去現場進行檢驗，造成人員負擔。 可以造成紙帶顏色改變，產生誤報。雖然部分 GMS
通過增加濾膜進行除水，可顯著降低冷凝水的幹擾，
以之前發生案例為例，2023/1/3 現場報出 GeH 4 GMS 但在南京濕度大且溫度低的情況下，濾膜的飽和時間
警報，讀值 120ppb，超出警告 (Warning) 等級，廠 極短 ( 約 3~4 天 )，仍然會造成 GMS 頻發。經過調研，
務人員和 ERC人員成立 ERT 進入現場，採用掌上型 南京廠區採用性能更佳的氣液分離器來減少冷凝水的
偵測器 (SPM) 測量，讀值為 0，檢查取樣管進氣端發 干擾。
現冷凝液滴，隨後清理冷凝液滴後讀值復歸至 0( 如
(a) (b) (C) (D)
圖 5：冷凝水幹擾 GMS 取樣現場圖。(a) 冷凝水導致偵測器誤報；(b) 取樣管上的冷凝水；(C)Teflon 濾膜；(D) 氣液分離器。
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