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VOL.52 廠務季刊 極寒天氣下氣化課供應風險與應對策略

2.5 極寒天氣下大宗化學品供應風險

除氣體系統之外，化學品供應系統運轉過程亦會受到 tank 內的氨水溫度僅為 16℃左右，而正常供應情況
極寒天氣的影響。以槽車充填為例，2017/12/20 經 下相同位置溫度則落在 20℃ -22℃，如圖 10 所示。
過酸槽機台的晶圓出現缺陷 (Defect)，比對發現與氨
水(NH 4 OH)29% 供應溫度低有相關。 為了避免低溫氨水影響，工廠積極認證大陸產氨水供
應，避免氨水長期在海運過程於槽罐車內降溫，同
NH 4 OH 29% 的供應架構如圖9 所示，由 Lorry Tank 時規範氨水在充填前液體溫度不得低於 16℃，灌入
A/B 交替供應並持續循環，循環過程除過濾顆粒雜質 Lorry tank 內最小循環時間為 36hrs，並且實時監測
也同時在與環境進行熱交換 ( 每循環 6 小時可回溫約 Day tank 內的氨水溫度。
1℃ )。因當時 NH 4 OH 29% 槽車為台灣海運過來，週
期約 15 天，槽罐車無特殊保溫措施會使得化學品溫 另外槽車充填操作也時常會受極寒天氣而影響。因槽
度會降到與環境溫度相當，低溫約為 -4~1℃。當遇到 車在灌充前需要進行二段保壓以確保密封性，而在第
槽車調度不及時，槽車灌充後 Lorry Tank 還沒能夠進 一段管路保壓時常會因為閥件 ( 圖 11) 內漏造成壓力
行足夠的回溫和熱交換，低溫的 NH 4 OH 29% 便直接 無法保持 ( 保壓條件：充壓大於 30psig，保持 3min
供應至線上而造成影響。當時點溫槍測試到 CDU Day 壓降小於 2psig)。

圖 9：NH 4 OH 29% 供應架構

圖 10：NH 4 OH 化學品供應溫度

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