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VOL.52 廠務季刊 極寒天氣下氣化課供應風險與應對策略

2.4 極寒天氣下 BSGS 氣體供應壓力波動大

此外位於戶外的大宗 & 特殊氣體供應站 (Bulk 以 Si 2 H 6 為例，從鋼瓶到氣櫃盤面再到無塵室前主管
Specialty Gas System, BSGS) 的特殊氣體亦受極寒 路皆配置加熱和保溫，從 Si 2 H 6 三相圖可以看出 ( 如
天氣影響。在南京廠設計之初對於戶外 / 無控溫液體 圖7)，在 10℃/ 20psig 時，Si 2 H 6 很容易發生冷凝變
鋼瓶 ( 乙矽烷 (Si 2 H 6 )/ 氨氣 (NH 3 )) 增加管路加熱和保 成液態，為確保 18psig~22psig 的供應壓力，我們將
溫棉包裹的設計 ( 如圖6)。 管路以 30℃的外掛式加熱帶進行包裹來避免冷凝的
產生。但在實際運轉中，發現 Si 2 H 6 的供應壓力仍然
波動較大，這是因為既有系統因溫度傳感器 (Sensor)
安裝位置不佳，造成管路溫度易受環境溫度影響，因
此改善溫度傳感器安裝位置。

圖 6：Si 2 H 6 供應架構

圖 7：Si 2 H 6 三相圖

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