Page 250 - 52
P. 250
TSMC/ Facility Published
結論
本文綜述了極寒天氣下氣化課運轉和供應面對的挑戰，
在南京氣候條件下，分別以大宗氣體供應風險、氣體
防爆間控溫差、氣體偵測系統頻繁作動、氣站氣體供
應壓力波動大、大宗化學品供應風險五個案列，闡述
了供應風險和應對措施，得出如下結論：
❶極寒天氣下戶外 PCV 閥件存在被冷凝水結冰凍住風
險，造成氣體供應壓力常，因此南京廠區採用壓克
力罩防護；室內驅動氣源銅管產生冷凝水滴落電控
區，可能造成機臺停機，南京廠區進行保溫包複並
在下方加裝承漏盤。
❷燃燒性氣體房位於菜籃區的房間保溫性能較差，在
極寒天氣下房間溫度波動為室內房間的 3 倍。南京
厰區管控動綫和換瓶時間，避免開門造成房間失溫
影響混氣濃度偵測，同時建議新建廠區增加庫板牆
保溫。
❸極寒天氣下 GeH 4 和O 2 氣體偵測系統進氣管路會受
冷凝水干擾，造成 GMS 警報，南京廠區擬採用氣
液分離器進行防護，南京廠區採用性能更佳的氣液
圖 11：槽車聯通閥件
分離器解決誤報問題，相比傳統濾膜飽和時間延長
了約 8 倍。
槽車上方的球閥為達到規定的密封要求，須借助密封
❹極寒天氣下 BSGS 氣體供應壓力波動會變大，南京
座產生微小位移使密封座表面產生一定的彈塑性變形，
廠區通過將溫度傳感器由貼合加熱帶改變為遠離加
形成必要的密封比壓。而密封座材料為聚四氟乙烯，
熱帶的方式使波動差值縮小至 2psig，降低了 83%
其彈塑性變形能力及在溫度變化條件下的穩定性並不
的波動。
理想，當溫度下降到使材料造成體積變化時，原本精
度很高的密封面產生翹曲變形而造成低溫密封不良。 ❺極寒天氣會造成化學品來料溫度偏低，有影響生產
的風險，灌入 Lorry tank 前需增加循環，檢測供應
同樣的，廢液槽車抽取作業也會因極寒天氣造成異
溫度，並且低溫下化學品槽車閥件密封性會變差，
常。有機類的廢液易揮發，整個抽取過程槽罐內的大
灌沖過程會因為閥件內漏造成保壓失敗，因此需避
量有機揮發物會因平衡槽罐壓力經由氣管導入廢液抽
免極寒天氣下灌充。
取系統的風管，而戶外的低溫會導致有機蒸汽凝結成
液體，不僅會觸發系統警報，操作人員在脫離氣管時
也必須特別注意避免化學品沾染，而冷凝下來的液體
也需要特別收集處理。
綜上所述，極寒天氣下會面臨因低溫會造成閥件密閉
性能差、物料溫度低、冷凝液體幹擾等問題。目前台
灣廠區天氣最低溫度未曾達到南京低溫，因此以上案
例可供台積電探索運轉提供經驗。
���
