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Special
Report
特別企劃
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文│曹志明 黃正吉 周政隆 │ 新廠設計部 製造技術中心│
AMC source
identification
by CFD modeling in
cleanroom
潔淨室氣態分子污染物(AMC)
污染源之預測方法
一般潔淨室設計中對於汙染源的預測大多採取由已知點釋放汙染物 ( 實驗或計算 )，再觀察汙染源擴散的
情況的方式來瞭解汙染物在潔淨室中的行為。但在真實運轉中的潔淨室，通常我們只能觀測到結果，而
無法得悉汙染物由何處而來，若擬求解此類工程問題一般採取「逆方法」運算求解。本研究採用「以機
率法為基礎」的計算流體力學逆方法估算一座二維潔淨室內的汙染源，並比對原先採取正向計算的結果。
本研究所獲得的結果顯示所預測最有可能成為汙染源的位置與機率與正向計算的結果相符。
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