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計算方式，空間某特定點
成為污染源的機率為該
「特定點」為各個單一偵
測點成為污染源機率的疊
合。假定由A偵測點經逆
運算所得到污染源機率為
曲面A，而由B偵測點經
逆運算所得到污染源機率
為曲面B，因此將兩曲面
疊和（相乘）即代表其各 圖三、計算流場偵測點位置(左)及濃度的正向解(右)
事件（Event，即分別為
A與B偵測點）的機率疊
合，其機率相乘數值最高
部份即為最大可能發生的
位置。基本上若偵測點越
多，其疊和後所計算得到
的發生機率也會提高。不
過該方法考慮氣流可能通
過空間中所有的路徑，與 圖四、第1偵測點所讀取濃度及逆方法計算之濃度分布
潔淨室「循環且對稱」的
氣流流形是不符的，倘若
採該方式會發生機率疊和
結果為零的情況，特別是
污染物在一側，偵測點在
另一側的情況下。回顧表
一所量測到的結果，可以
發現潔淨室右側(第五至第
八個)偵測點所量測之結
圖五、第2偵測點所讀取濃度及逆方法計算之濃度分布
果級值與左側的結果相差
甚大，反而將影響疊合計
算的結果，得出與事實不
符的結果。因此必須設置
一個過濾的機制，也就是
「權重」的觀念強調高濃
度量測值的計算結果，同
時在不忽略低濃度量測值
的計算結果而予以淡化。
依據此觀念將八點疊加 圖六、第3偵測點所讀取濃度及逆方法計算之濃度分布

偵測點1 偵測點2 偵測點3 偵測點4 偵測點5 偵測點6 偵測點7 偵測點8
Xmin=2.1m, Xmin=3m, Xmin=3.9m, Xmin=4.8m, Xmin=5.7m, Xmin=6.6m, Xmin=7.5m, Xmin=8.4m,
Xmax=2.6m Xmax=3.5m Xmax=4.4m Xmax=5.3m Xmax=6.2m Xmax=7.1m Xmax=8m Xmax=8.9m
座標
Ymin=1.1m Ymin=1.1m Ymin=1.1m Ymin=1.1m Ymin=1.1m Ymin=1.1m Ymin=1.1m Ymin=1.1m
Ymax=1.5m Ymax=1.5m Ymax=1.5m Ymax=1.5m Ymax=1.5m Ymax=1.5m Ymax=1.5m Ymax=1.5m
濃度 3.116183 28.48624 22.31855 10.4027 1.326601 0.038636 0.009083 0.000801
表一、各偵測點位置及濃度

NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL APRIL 2012 27