Page 35 - Vol.06
P. 35

As Is  To Be     As  No design i -ASC (2010/11/23 CDA#7 trip during 16:18"50 ~16:20"27  ) for  vibrate transmitter connect failed .
                  Is
 Year-month  Jan-11  Feb-11  Mar-11  Apr-11  May-11  Jun-11  Jul-11  Aug-11  Sep-11  Oct-11  Nov-11  Dec-11

 CDA month cost (NT)  6,120,125  5,467,174  6,052,942  5,703,462  5,826,394  5,627,862    5,812,333    5,815,457  5,582,502  5,676,404 5,580,792  5,723,071
 Dryer running fee (NT/  203,112   183,456    203,112    196,560   203,112   196,560   203,112    203,112   196,560    162,490    157,248    162,490
 M)
 P1P2 month wafer   7,462,320    6,138,020  6,433,957 5,972,220  6,759,147  7,038,900    6,184,996    4,951,196  5,454,330 6,239,804 5,419,230  5,838,850



 moves  (pcs)
 P1P2 avg wafer moves
 (pcs/day)  240,720    219,215   207,547    199,074   218,037   234,630    199,516   159,716    181,811   201,284   180,641   188,350
 CDA unit KPI (KWH/
 CMH)  0.136    0.137   0.137   0.132    0.134   0.132    0.134   0.136    0.134   0.132    0.130   0.133
 sub-total cost (NT)  17,640,241    17,157,718   17,210,292    16,980,267   CDA system pressure [bar]   9 .1bar to  8.56 bar
                                                                  P1 CDA 35kg/cm2 buffer tank [bar]       32 bar to 30 bar
                                                                  P2 CDA 35kg/cm2 buffer tank [bar]       31.5 bar to 30.5 bar
                                                                  LN2 back up CDA PT4 pressure [bar]    No effect
                  To
 2010 CDA running cost 72,408,017    NT/yr  Be  Installed i-ASC  (2012/02/16 CDA#3 trip during 13:03 ~13:04  ) for  vibrate sensor failed .

 2011 CDA running cost  68,988,518  NT/yr
 2012 Benefit  4,486,949    NT/yr  ASC benefit  TL benefit
  3,302,000     1,184,949    NT/yr






                                                                  CDA system pressure [bar]   9.1 bar to  8.79 bar
                                                                  P1 CDA 35kg/cm2 buffer tank [bar]       No effect   Good
                                                                  P2 CDA 35kg/cm2 buffer tank [bar]       No effect
                                                                  LN2 back up CDA PT4 pressure [bar]    No effect
               圖十、安裝i-ASC 可縮短空壓機故障影響系統壓降的時間與程度 i-ASC prevent pressure drop benefit





                一、二、三期  KPI  已降至0.14             D.將機台現場狀態顯示於圖控                   壓縮空氣的公司，也可把此經驗
                KWH/CMH 以下，如圖九，比其                  上，易於辨識並加速值班上的                  分享，來達到空氣單價能夠有調
                他廠區效率更佳。                           應變處理。                          降的空間與機會，預估總效益則
                                                 E. 可進行遠端手動遙控現場起停                 可達到約27,000 KNTD / year的
                                                   機以及機台自動負載、洩載備                  電費支出。如此一來不但為公司
                                                   機功能。                           創造更多的利益之外，也對地球
                結論                               F. 機台操作歷史事件與警報皆會                 節約能源的共同議題上能盡一份
                                                   保留以供查閱。                        心力。
                在    CDA system 中加入ASC加          G. 持續性的收集空壓機的溫度、
                     上TL控制，給我們帶來的
                                                   壓力、震動值並加以繪製成曲
                好處總結如下:                            線以供檢視。
                                                                                  參考文獻
                A. CDA壓力更為穩定且能夠保持                  經過十二廠一、二、三期測
                  最小運轉電流，提供節能新方                  試後，已證實i-ASC確實可安全                 [1]  CDA ASC controller how to
                  法。                             地使用並且達到節能功效，目前                       cost down
                B. 提供完善的密碼分級保護，避                 已可替公司省下8,435  KNTD  /            [2]  Cmc2004Manual - CDA 運
                  免非相關的人士誤操作。                    year的電費支出，未來先行推廣                     轉手冊
                C. 偵測到運轉中的空壓機故障                  至竹科十二廠區作平行展開，但                   [3]  F12 & F14 CDA system
                  時，可依據預排順序瞬間啟動                  是此IR空壓機除了十二廠外，還                      cost analysis
                  備用空壓機，如圖十，較以往                  有三廠、南科十四廠三、四期，                   [4]  2011 / 2012 BGS
                  CDA壓力降至自動化熱啟動                  中科十五廠以及十廠皆有使用，                       consumption benchmark
                  (Auto  hot  start)  壓力設定點      相信除了台積電能夠廣泛使用以
                  才會啟動備用機台來的快速許                  外，像是三福氣體、聯華氣體、
                  多。                             亞東氣體與台積電訂契約來生產



                                                                              NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL         APRIL 2012  35
   30   31   32   33   34   35   36   37   38   39   40