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技術專文

圖十一、F12P6 MAU 進氣口的 NH 3 濃度分佈
圖十、F12 基地在 MAU 高度的 1-hr NH 3
濃度分佈 ( 所有 tsmc F12 的 AEX/SEX)
(F12 AEX/SEX)

MAU進氣口

#15 #2 #1
4 0 .0
CUB 3 5 .0 F12P6 Cleanroom
1-hr Ammonia (ppb) 2 5 .0
3 0 .0
(F12 all AEX) 2 0 .0
1 5 .0
1 0 .0
5 .0
0 .0
1 5 1 4 1 3 1 2 1 1 1 0 9 8 7 6 5 4 3 2 1
1 - h r N H 3 1 9 . 9 1 9 . 8 1 9 .6 1 9 . 5 1 9 .2 1 8 . 5 1 8 .2 1 7 .4 1 7 . 3 19 .1 2 2 .1 2 5 . 8 2 9 .4 3 2 . 4 3 5 .3
M A U In t a k e

圖十二、MAU 高度之各污染來源的 THC 擴散濃度分佈

(F12 all SEX) (ALL Sources) (gas station)

(line Sources) (tsmc VEX)

置和煙囪的距離有關，#8~#15 進 也評估 F12P6 廠區西北側的加油 g/s；
氣口因為距離 F12P6 排放管道較 站的逸散和附近道路之汽機車排放 – 力行一路：寬度 10m，汽車 25
近，F12P6 所 排 之 NH 3 在此距離 之 THC 對 F12P6 的影響。汽機車 部，機車 30 部，排放量 0.4837
尚未沈降到屋頂高度，但 #1~#7 所排放之 THC 係數為參考 2005 台 g/s。
進氣口距離 F12P6 煙囪較遠，因 北縣市計畫結果、行車速度 ( 假設
圖十二 為 F12P6 MAU 高度的 THC
此煙囪排放的污染物在特定的氣象 40km/hr) 及 車 流 量（ 假 設 值 ），
模擬結果和各污染源的擴散濃
條件下即蓄積在屋頂；F12P4/P5 排放高度為 0.5m；
度分佈情形。模擬結果顯示，在
對 F12P6 #1~#7 進氣口的影響情 – 園區二路：寬度 12m，汽車 30 MAU 高度的 THC 最大濃度發生
形同樣是取決於煙囪和進氣口的距 部，機車 40 部，排放量 0.6745 在 F12P6 西北側的園區三路，
離 圖十一。 g/s； F12P6 屋頂的最大小時 THC 濃度
至於 THC 的模擬結果，除了評估 – 園區三路：寬度 20m，汽車 60 高 達 200~300ppb 之 間， 但 tsmc
F12 各廠所排的 THC 之外，另外 部，機車 70 部，排放量 1.2244 各廠 VEX 所排放之 THC 對 F12P6

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