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圖十三、MAU 位置調整設計示意圖

F12P1/P2 F12P4/P5 F12P6
Existing MAU

Redesigned MAU

圖， 圖十四為假設不同樓層的模擬
圖十四、不同樓層高度之 MAU 設計
分析設定高度， 圖十五為用以評估
不同高度之 MAU 設計時之濃度的
網格點。
MAU = 36m
表六為 F12P6 西北邊 HPM 外牆不
同高度時的 HF 擴散濃度模擬結果，
5F = 28m
及不同高度之 HF 擴散濃度相較於
MAU 高度之擴散濃度的變化。依
4F = 20m 據既有 MAU 進氣口的 HF 擴散模
擬結果顯示，既有 MAU 進氣口的
HF 濃度範圍在 2.9~3.8ppb 之間，
3F = 15m
在同樣 MAU 高度 (36m) 時，廠房
西北側的 HF 擴散濃度反而較高，
2F = 8.5m
HF 的 擴 散 濃 度 在 3.3~4.9ppb 之
間，但當高度下降的 5F(28m) 時，
GL = 1.5m HF 擴 散 濃 度 降 為 2.8~3.6ppb，
約略和既有之 MAU 進氣口的 HF
擴散濃度相當，當高度降低到
4F(20m) 時，在廠區西北側位置的
HF 擴散濃度就開始有明顯的變化，
濃 度 降 為 2.2~3.1ppb 之 間， 較 既
有的進氣口濃度下降達 27%；更
進一步分析在 3F(15m)、2F(8.5m)
和 地 面 (1.5m) 高 度 時，HF 的 濃
度 由 既 有 之 MAU 進 氣 口 位 置 的
2.9~3.8ppb 降 低 到 2.0~2.9ppb 之
間，下降的幅度分別為 32%(3F)、
屋 頂的 濃 度貢 獻 僅在 12~18ppb HF 排放管道的模式輸入資料如前
35%(2F) 和 36%（地面）。
之間，而加油站的貢獻更低於 面模擬所示。既有 MAU 的高度
比較分析不同樓層高度的 THC 擴散
3.0ppb，顯示 F12P6 屋頂的 THC =36m，模擬高度分別為：地面層
濃度分佈情形顯示，在地面的 THC
來自交通雍塞時汽機車廢氣的貢 （GL= 離 地 1.5m）、2F（ 離 地
濃度受廠區附近道路之汽機車廢氣
獻。 8.5m）、3F（離地 15m）、4F（離
排放的影響，F12P6 廠房西北側的
另外，本研究以 MAU 移到廠房 地 20m）和 5F（離地 25m）；模 最 大 THC 濃 度 高 達 3,500ppb 以
西北邊 HPM 側牆作假設並以不同 擬結果以比較 Fab 西邊在不同高度 上，在 2 樓高度時的最大 THC 濃
樓層高度進行評估，再次尋求降 時，HF 擴散濃度的變化比例。 圖 度仍然高達 1,200ppb，當高度在
低 MAU 入口的 HF 濃度的機會； 十三 為 MAU 位置調整的評估示意 3 樓（離地 15m）時，THC 最大濃

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