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圖十六、不同樓層高度之 THC 擴散濃度分佈情形

                            Ground Level                      4th Floor











                             2nd Floor                        5th Floor












                             3rd Floor                       MAU Level










                                                                               參考文獻
                                                                               [1]  S E M I , I nt e rnat i onal  Te ch n olog y
                                                                                  Roadmap for Semiconductors
                                                                                  2005 Edition: Yield Enhancement,
                                                                                  S e miconductor Equipme nt and
              PSC8) 排放之 HF 對進氣空氣品質             P5 為主要的貢獻來源。分析 MAU                 Materials International, https://www.
                                                                                  semi.org, (2005).
              的影響，且以地面到 3F 高度的下                和 F12P6 西北邊外牆不同高度之
                                                                               [2]  ASHRAE, 2004 ASHRAE Handbook-
              降幅度最顯著。然而當納入 F12 廠               NH 3 擴散濃度顯示，F12P6 廠區的              HVAC  Syste ms and Equipme nt:
              區附近的交通污染源和加油站所排                  MAU 進氣口和附近的 NH 3 濃度約               Chapter  44- Building Air  Intake  and
                                                                                  Exhaust Design, ASHRAE, (2007).
              放的 THC 時，位於西北邊 HPM 側             有 90% 來 自 F12 各 廠 (F12P6 和
                                                                               [3]  Wilson, D.J. and G. Winkel. The Effect
              牆的 MAU 設計明顯地受到交通污                F12P4/P5) 之 SEX 煙 囪 所 排 放 的
                                                                                  of Varying Exhaust Stack Height on
              染源和加油站的影響，尤其是交通                  NH 3 的貢獻，顯示 SEX 排放管道中              Contami-nant Concentration at Roof
                                                                                  Level. ASHRAE Transactions 88(1):513-
              污染源之 THC 的影響程度為所有                NH 3 廢氣對 MAU 進氣口之空氣品
                                                                                  533, (1982).
              工廠之 VEX 所排放之 THC 貢獻量             質的影響嚴重性。
                                                                               [4]  Wilson, D.J., Flow Patterns Over Flat-
              的數百倍。然而當 MAU 高度由地                                                   Roofed Buildings and Application to
                                               依據各污染物的模擬結果，F12P6
              面移到 3F（離地 15m）高度時，                                                  Exhaust Stack Design, ASHRAE Trans.,
                                               之 MAU 進氣口面向西側確實為較                  (1979).
              不論是降低 HF 或 THC 對進氣口之
                                               佳的方位選擇；而未來若能改變建                 [5]  Smith, A.L. and Schuyler, G.D., Air
              空氣品質的影響程度均相當顯著，                                                     Intake Placement-Recommendations
                                               築物結構，將設置位置由目前的屋
              雖然在此高度 THC 的濃度仍有                                                    From Years of Modeling Results, Rowan
                                               頂位置移到廠房西北邊側牆，高度                    Williams Davies & Irwin Inc., http://
              200~300ppb，但必須說明的是主
                                               以 2~3F（離地面 8.5~15m）為最              labs21.lbl.gov/DPM/Assets/e3_smith.
              要來源為交通污染源的貢獻，且模                                                     pdf, (2012)
                                               佳選擇高度。MAU 之 NH 3 的問題，
              擬評估的條件為較嚴重的交通狀況                                                  [6]  Petersen, R.L., Carter, J.J., and Ratcliff,
                                               除了改變 MAU 的位置和高度之外，
              時，而交通污染源對 THC 的貢獻                                                   M.A., Influence of Architectural Screens
                                               控制 SEX（酸排）廢氣中的 NH 3 的              on Rooftop Concentrations Due to
              則無法完全排除。                                                            Effluent from Short Stacks, ASHRAE
                                               量才是治本的方法。至於女兒牆對
                                                                                  Transactions, Vol. 105, Pt.1, (1999).
              NH 3 的擴散模擬分析結果顯示，                煙囪高度的影響，研究顯示不同的
                                                                               [7]  Lloyd L. Schulman, L.L., Strimaitis,
              F12P6 既 有 之 MAU 的 NH 3 主要        孔隙率和煙囪高度成線性相關，當                    D.G., and Scire, J.S., Development and
              來自 F12 各廠之 SEX 煙囪所排放             孔隙率為 100% 時，女兒牆的設置                 Evaluation of the PRIME Plume Rise
                                                                                  and Building Downwash Model, Earth
              的 NH 3 ，尤其是 F12P6 和 F12P4/       並不會影響既有的煙囪高度。                      Tech, Concord, MA, (1997).
                                                                              NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL         OCTOBER 2012  55
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