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技術專文

圖十五、評估 MAU 高度的網格點

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表六、F12P6 西北邊 HPM 外牆不同高度之 HF 擴散濃度及變化比例

HF擴散濃度(ppb) 下降比例(各樓層/MAU高度)
測點
Roof 5F 4F 3F 2F Ground 5F 4F 3F 2F Ground
(36m) (28m) (20m) (15m) (8.5m) (1.5m) (28m) (20m) (15m) (8.5m) (1.5m)
1 4.9 3.6 2.5 2.4 2.3 2.3 26% 49% 52% 52% 52%
2 4.7 3.5 2.5 2.2 2.2 2.2 24% 46% 53% 53% 53%
3 3.9 2.9 2.2 2.2 2.2 2.2 25% 43% 43% 44% 44%
4 4.0 3.1 2.3 2.1 2.1 2.1 22% 43% 47% 48% 48%
5 3.5 2.8 2.2 2.1 2.1 2.1 19% 37% 40% 40% 41%
6 3.5 2.8 2.3 2.0 2.0 2.0 19% 35% 42% 43% 43%
7 3.5 3.0 2.6 2.4 2.2 2.1 16% 25% 31% 37% 39%
8 3.4 2.8 2.5 2.3 2.2 2.1 16% 27% 32% 36% 38%
9 3.3 2.8 2.4 2.3 2.3 2.4 16% 27% 31% 31% 29%
10 3.7 3.3 3.1 2.9 2.7 2.6 9% 17% 22% 27% 29%
11 3.4 2.9 2.5 2.3 2.2 2.1 17% 28% 33% 37% 38%
12 3.4 2.8 2.5 2.3 2.2 2.2 17% 28% 33% 35% 35%
13 3.4 3.0 2.8 2.7 2.2 2.1 11% 17% 21% 34% 36%
14 3.5 2.9 2.5 2.3 2.2 2.1 16% 28% 34% 38% 40%
15 3.3 2.9 2.5 2.3 2.1 2.0 14% 26% 32% 37% 39%
既有MAU的HF濃度＝2.9~3.8 ppb 11% 27% 32% 35% 36%

度大幅降為 600ppb，但在 4 樓以 佳吸入方位為廠區西側。除此之
上高度（5 樓、MAU 高度），THC 結論 外，不同高度的模擬結果顯示，對
最大濃度均維持在 400~450ppb 而 MAU 進氣口的 HF 濃度下降幅度分
沒有明顯的下降。 圖十六為不同樓 析，將 MAU 進氣口由屋頂移到西
層高度之 THC 最大小時濃度的分 根據模擬結果，MAU 進氣口設置 北邊 HPM 外牆時，可以有效地減
佈情形。 於屋頂時，則 F12P6 進氣口的最 低各廠煙囪 (tsmc F12、PSC12、

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