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染物的稀釋倍數較高,反而是距離
              圖九、F12P6 及附近各廠的影響風向分析
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                                                                               染物的稀釋效果較不顯示;整體而
                                                                               言,進氣口對 F12P6 自身所排放
                                                                               之污染物的稀釋率由第一個進氣口
                                 F12P1/2                                       最 低 的 25 倍, 到 第 14、15 號 進
                                                                               氣口的 125 倍。因此如果僅考慮
                 F12P6, 3~9月                F12P1/2, 1~4. 9~12月
                                                                               F12P6 本身煙囪所排放之污染物
                                                            PSC F12, 3~9月
                                            AUO                                對 MAU 進氣之空氣品質的影響,
                                                               PSC F12, 3.8~9月  進氣口的位置應該盡量選擇靠近廠
                               F12P6                                           區西側的位置。然而由於 F12P6
                 F12P4/5, 3. 6~9月                                              的 東 南 邊 即 為 F12P4/P5, 因 此

                                  F12P4/5               PSC                    P6 進氣口之污染物的來源反而以
                                                                               F12P4/P5 為主要的貢獻來源。
                                                     PSC
                                                                               除各污染源本身的相對位置分析
                                                                               外,若以季節盛行風向分析 F12P6
                                                                               廠區及其附近各工廠相對於 F12P6
                                                                               進氣口的位置顯示,F12P1/P2 煙
              表五、F12P6 MAU 之最大小時 NH 3 擴散濃度及 SEX 貢獻濃度
                                                                               囪排放對於 F12P6 的影響主要在
                                                                               北北東至東北風時;F12P4/P5 之
                   F12P6                 NH 3  小時平均濃度及各來源貢獻                    煙囪排放對 F12P6 的影響主要在
                   MAU
                                    F12 SEX    F12P1 SEX  F12P4/P5 SEX  F12P6 SEX  東南風季節;至於力晶 12 廠對
                             All NH 3
                                                                               F12P6 的影響則以東風和東南東風
                   #1        35.3   32.1       12.1      10.1      32.1
                                                                               為主;而 F12P6 的煙囪排放對本
                   #2        32.4   29.5       11.8      9.9       29.5
                                                                               身進氣口的影響風向以西風為主。
                   #3        29.4   26.3       12.1      9.5       26.3
                                                                               圖九為各廠對 F12P6 的影響來源風
                   #4        25.8   22.9       12.6      10.2      22.9
                                                                               向分析。
                   #5        22.1   19.6       12.5      11.0      19.6
                                                                               NH 3 的來源除了 AEX 煙囪之外,
                   #6        19.1   17.4       12.3      13.0      17.4
                                                                               根據 F12 實際檢測資料,另外也假
                   #7        17.3   15.8       12.1      14.7      15.8        設各廠的 SEX 排放管道中各有三
                   #8        17.4   16.0       11.4      16.0      14.1        根排放較高濃度的 NH 3 ,至於附近
                   #9        18.2   16.7       10.7      16.7      12.3        友廠的排放量因缺排放資料而未納
                   #10       18.5   17.3       10.3      17.3      10.5        入模擬評估。F12P6 在 MAU 高度
                   #11       19.2   17.7       10.1      17.7      9.1         的 NH 3 濃度分佈情形顯示,F12P6
                                                                               MAU 的 NH 3 主要來自 SEX 而非
                   #12       19.5   18.1       9.8       18.1      7.7
                                                                               AEX  圖十,MAU 進 氣 口 的 NH 3 約
                   #13       19.6   18.3       10.1      18.3      6.9
                                                                               90% 來自 SEX 的貢獻。進一步分
                   #14       19.8   18.2       11.2      18.2      6.0
                                                                               析 MAU 高 度 的 NH 3 模擬結果顯
                   #15       19.9   18.3       12.2      18.3      5.0
                                                                               示,各廠的 SEX 所排放之 NH 3 對
                                                                               F12P6 MAU 的 影 響 依 據 MAU 的
                                                                               位置而有不同,大致上 F12P1/P2
                                                                               之 SEX 對 F12P6 MAU 的 影 響 較
              濃 度 範 圍 介 於 1.8~1.9ppb, 各 個      SEX 煙囪數量較少,且其廠區位於               不 顯 著, 但 F12P4/P5 和 F12P6
              進 氣 口 受 到 F12P1/P2 煙 囪 所 排       F12P6 的東邊,因此只有在吹東風              本 身 對 F12P6 MAU 的 影 響 則 依
              放之 HF 的影響相當一致,顯示因                時才會將污染物吹送到 F12P6 廠              MAU 的位置和方向而定,  表五顯
              F12P1/P2 煙囪和 F12P6 MAU 的         區。                              示 F12P6 之 SEX 所排放的 NH 3 主
              距離關係,因此 F12P1/P2 煙囪所                                             要影響東南側 (#1~#7) 的 MAU 進
                                               進一步分析 F12P6 煙囪所排放之
              排放的 HF 擴散到 F12P6 廠區時                                             氣口(西北風的條件下);而西北
              已成均勻的分佈。至於力晶 12 廠                HF( 假 設 出 口 濃 度 =75ppb) 擴       側 (#8~#15) 的 MAU 進 氣 口 則 主
              煙囪所排放的 HF 對 F12P6 的影             散到 MAU 進氣口時的稀釋倍數顯               要受 F12P4/P5 之 SEX 的影響(東
              響相對較低,主要是力晶 12 廠的                示,靠近廠區西北側的進氣口其污                 南風時)。此現象主要是進氣口位




                                                                              NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL         OCTOBER 2012  51
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