Page 58 - Vol.08

Tech
Notes
技術專文

圖二、MAU Air Washer System 外觀 圖三、GRUNDFOS 製造之 CRN-90-3-2 泵浦外觀與構造

壓力降至
2.8kg/cm 2 發生
故障
區域

使得空氣中的 AMC 成分溶於水，
圖四、F12P2 MAU 現場 Air Washer 泵浦的銘牌
則空氣的 AMC 成分就可以減少。

MAU/Air Washer System 現況調查：

需求建議書（Request for Proposal,
RFP）對外氣水洗系統的規範
– Face velocity at re-Heating coil
in MAU ≧ 2.5m/s
– Water Conductivity ≦ 20us/cm.
– NH 4+ and SO – Remo val
efficiency: > 90% or outlet <
界層(如 圖一所示 )，而邊界層中水 將泵浦逐一修復，並降低泵浦吸入
3ppbv.
蒸汽分子的濃度或水蒸汽分壓力取 口高度後，出口壓力雖回復到 4.0
2
決於邊界層的飽和空氣溫度。在邊 kg/cm ，但再經過四個月後壓力又 – Follow tsmc SQM testing result
of IC method for system accep-
2
界層周圍，水蒸汽分子仍作不規則 已經降到 3.0 kg/cm 。由於沒有細
tance basic.
運動，結果經常有一部分水分子進 部設計與運轉資料可供參考，考量
入邊界層，同時也有一部分水蒸汽 此故障風險可能會影響 MAU 的運 因此噴嘴的水量、泵浦水量與工作
分子離開邊界層回到水中。 轉狀況，我們經泵浦銘牌資料與化 壓力，是由新廠設計部與工程公司
學實驗室的 AMC 去除效率資料， 依照原始開發條件進行設計規劃。
外氣水洗系統為新廠設計部研究
對 Air Washer System 的設計條件
開發的設備，具較高的空氣加濕
與泵浦故障原因的加以檢討，作為 泵浦調查
能力與特優的 AMC 削減能力，各
改善方式的依據。 泵浦為 GRUNDFOS 公司製造，型
廠的 MAU 風量規劃都是 100,000
號為 CRN-90-3-2，外觀如 圖三所
CMH， 而 在 12" Wafer FAB 經 過
示；依照銘牌 圖四 標定的流量為
多年運轉經驗後，需要供應更多
3
108m /hr，揚程為 78.3m，Motor
的潔淨空氣至無塵室，就於 F12
37kW/ 460 VAC。
P2 率先導入更高風量的 MAU 實驗測試調查
(140,000CMH)。 – Motor
Standard motors for CR, CRI,
但是高風量的 MAU 在運轉三個月 Air Washer System 是 MAU 的關鍵
CRN-60 Hz（如 圖五所示）。
後，Air Washer 泵浦出口壓力由初 性設備，操作的方式如下：
2
始 的 4.0 kg/cm 逐漸下降，運轉 – 對室外空氣進行加濕處理，經過 噴嘴調查
2
經過六個月已降至 2.8 kg/cm （如 外氣水洗箱段後空氣的相對濕度 依照提供的 Spray Nozzles 的水量
圖二所示），部分甚至發生故障而 均在 95% 以上。 規格資料，計算水量需求（如 圖六、
無法使用，在兩個月期間承攬商 – 利用水霧噴嘴對空氣進行水洗， 表一所示）。

58