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表二、ST-250 危害標示 [3]

危害辨識資料
物品危害分類 急毒性物質：吞食 第4級
腐蝕／刺激皮膚物質 第2級
嚴重損傷／刺激眼睛物質 第2A級

器官系統毒性物質－單一暴露 第1級
器官系統毒性物質－重複暴露 第1級

標示內容 象徵符號
警示語 危險

吞食有害，造成皮膚刺激，造成眼睛刺激，會對器官造成傷害，長期或重複暴露會對
危害警告訊息
器官造成傷害。
切勿吸入蒸氣或霧氣。使用本產品時，不可以吃東西、不可以喝飲料，也不可以抽
危害防範措施
煙。處理之後，要徹底清洗。要穿戴防護手套或衣物以及眼部或面部的防護裝備。
接觸到皮膚時，要用大量的肥皂與水清洗。如果覺得不適時，要打電話請毒物研究中
其他危害（如有其它危害請用文字說明）
心或醫師前來診斷。如果急需特別的處理，請參考安全資料表的急救章節的內容。

物理及化學性質

外觀（物質狀態、形狀、顏色等） 黃褐色到淡褐色 氣味 氨氣臭味
嗅覺閾值 － 熔點 -47℃
pH值 8 沸點／沸點範圍 107℃
易燃性（固體、氣體） IIIB 分解溫度 －
閃火點 >107 測試方法 close
自燃溫度 － 爆炸界限 －
蒸氣壓 20mmHg 蒸氣密度 0.62
密度 1.14 溶解度 與水互溶
辛醇／水分配係數(log kow) － 揮發速率 <1 （乙醚=1 ）

安定性及反應性
安定性 在正常溫度與壓力之下相當穩定。
特殊狀況下可能之危害反應 －
應避免之狀況 沒有任何的報導內容。
應避免之物質 氧化物、酸。

危害分解物 熱分解或燃燒產物：氨、氟化氫、碳氧化物、氮氧化物。

為 40%。 還會持續一段時間。 ST-250 供應系統過濾器之配置及更
換管理方式
另外，目前在液態量測微粒領域，
ST-250 供應系統的 P&ID 圖如 圖六、
已商業化微粒分析儀之最低偵測下 ST-250 物理化學特性
七，目前供應系統的過濾器是採取
限為 40nm，又，已商業化 Filter 之 ST-250 為一種弱鹼性、外觀呈現
定量更換模式，即在過濾一定桶數
最小孔隙為 20nm，從以往微粒分 黃褐色到淡褐色且有輕微臭味的急
後進行更換。
析儀發展經驗來判斷，目前量測能 毒性化學品，因含水量高，沸點高
力趕不上半導體製程微縮技術可能 達 107℃，其 MSDS 如 表二 。

NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL OCTOBER 2012 75