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技術專文

圖六、ST-250 供應系統過濾器局部放大示意圖 圖七、ST-250 供應系統過濾器照片

圖八、ST-250 之實驗計畫流程示意圖

更換尺寸

OK
微粒分析儀 Dl Flush Flush 標準微粒測試 ST-250 收集資料及分析
組裝定位 結果確認 (5種不同尺寸) 實測
NG

驗證實驗 時注意比對機台的配管距離力求
計畫方法 實驗目地：確認新式微粒分析儀的 相等，以降低實驗誤差。
偵測能力並與現行微粒分析儀做比 – 標準樣品測試
較，以確認量測數值可靠度。 選 定 已 知 粒 徑 大 小 及 分 布 曲 線
新式微粒分析儀是運用先進的影像
實驗原理：使用已知粒徑的標準樣 的 標 準 樣 品 顆 粒 (Polystyrene
技術來提升微粒的鑑別能力，然而
品微粒注入並聯的不同形式微粒分 Latex, PSL)，48nm, 55nm,
實務上偵測能力是否精準可靠，希
析儀並且同時取得測試數據以做比 65nm,73nm,100nm，共計 5 種，
望能透過現場實測來比對驗證。比
對依據。實驗步驟：如 圖八所示。 由小至大依序進行測試，每一種
對機種選定則是挑選已有長期使用
其他說明： 標準樣品測試前使用超純水 Flush
經驗的現行台積電主力機種 PMS 乾淨以確認無受到上一種標準樣
HSLIS M65e 與 新 發 表 的 PMS – 儀器安裝地點 品干擾。
在 ST-250 Chemical Room，實
Ultrachem 40。 另 外， 選 擇 ST-
驗配置如 圖九所示。
250 為實測化學品原因是因為 ST-
250 有顏色且會干擾量測，一直以 – 安裝技巧 ST-250 測試
來就是難以量測的化學品，如果連 以廠內供應的超純水 Flush 及當 實驗目地：實際量測有顏色化學品，
ST-250 都可以準確量測，那麼量 做背景值。 觀察是否會產生干擾。
測其他無顏色化學品就更不會有問 測試用微粒分析儀之取樣管採並 實驗步驟：直接銜接 ST-250 化學
題。 聯方式銜接且管線愈短愈佳，同 品供應系統的取樣點，同時觀察、

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