Page 77 - Vol.08

比對測試數據，以確認新世代微粒
圖九、ST-250 之檢測實驗配置示意圖
分析儀實際量測能力。
注意事項：測試用的取樣管前應先
沖洗乾淨後才可銜接微粒分析儀，
Dl Water HSLIS M65e Drain 以避免造成污染。

標準微粒樣品 Ultrachem 40 Drain
或 ST-250
結果與分析

標準樣品測試結果
圖十、HSLIS M65E100nm 標準樣品測試結果分布圖 [2]
使用 100nm 標準樣品顆粒之測試
結果如 圖十、十一所示。因標準樣
500 品之粒徑為常態曲線分布，M65E
400 顯 示 65nm：100nm 比 例 約 在
Partical Counts 300 60:40，距離 50:50 理想值已經很

接近。UltraChem-40 測試結果顯示
200
100 90% 分佈 > 70nm，更有 40% 顯
示在 100nm 位置，符合顆粒常態
0
65 100 150 200 分 佈 曲 線， 顯 示 UltraChem-40 有
nm
極佳的準確度以及解析度。
各種不同尺寸標準樣品測試曲線
如 圖十二 ，由可結果可明顯看出

圖十一、HSLIS UltraChem-40 100nm 標準樣品測試結果分布圖 [2] M65E 幾乎無法分辨低於偵測下限
的 48nm, 55nm, 65nm 尺寸；然而
偵測下限為 40nm 的 UltraChem-40
500
卻可以有效辨識出來，同時在
400 73nm 以上標準樣品計數效率幾乎
Partical Counts 300 到達 100%。

200
100 註：
計數效率（Counting Efficiency）之
0 定義為：已知微粒數量 / 量測數量。
40 70 100 125
nm
ST250 測試結果

由 圖十三可觀察到 M65e 在 65nm,
150nm & 200nm 顯 示 零 顆，100
圖十二、各種不同尺寸標準樣品測試結果 [2]
nm < 100 顆 表 示 M65e 無 法 有 效
量測 ST250，推測原因可能是受
100% 到 ST-250 的外觀顏色干擾，因而
90% Ultra Chem-40
造 成鑑 別 能 力降 低。 圖十四 顯 示
80% HSLIS M65e
UltraChem-40 在量測 ST-250 時仍
70%
Counting Efficiency 60% 然有很好的鑑別能力，也就是說使
50%
用影像分析技術可有效降低干擾，
40%
提升鑑別能力。
30%
20%
10%
化學品過濾器的節能之運用建議
0%
48nm 55nm 60nm 73nm 100nm 提升良率一直是各廠區努力的重點
目標，正因擔心會影響良率且量測

NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL OCTOBER 2012 77