Page 29 - Vol.09
P. 29
持 18 公尺以上安全距離 [4] ；AIGA
圖六、槽車灌充照片
033 則要求氫氣與最近建築物保
持 15 公尺的安全距離 [5] 。基於安
全考量，爆炸的壓力釋放方向（爆
破口）盡可能朝向空地或綠帶之類
無人活動區域，以上要點需事先考
量，以能順利通過啟用前的安全審
查。其次，儲槽灌充時會先用氣態
氣體吹淨管線，接著使用液態氣體
預冷管線，這些氣體會大量排放在
周遭環境，因此儲槽區必須選擇在
通風良好的開放空間，以杜絕氣體
蓄積造成人員傷害或死亡，所以地
下室或密閉空間不宜放置液化氣體
儲槽。
第二項考量點─槽車的進出動線
圖七、240 噸 LN2 儲槽運輸入廠照片 無論大宗氣體或大宗特殊氣體，都
是藉由槽車或拖車運送到氣體場
內，由於大型車輛之迴轉半徑大，
必須要有足夠的迴轉空間車輛才能
順利進出廠區，道路過小或迴車空
間不足，均可能造成運輸風險，在
規劃階段必須避免。另外，在露天
儲槽區考量灌充損失及污染問題，
灌充用軟管宜短不宜長，一般灌充
口通常規劃在氣體場圍籬邊界，槽
車就近停放氣體場週邊道路進行灌
充作業（槽車灌充照片如 圖六），
由於大型液化槽車之作業時間常常
超過 2 小時，因此必須考量灌充
停車位、灌充頻率及灌充作業時之
交通問題，在空間許可的情況下，
不同氣體種類最好有專屬灌充停車
位，倘若空間的確受限，至少應規
圖八、240 噸 LN2 儲槽吊裝照片
劃緊急應變車位，以確保安全運轉
無虞。
第三項考量點─管線進出動線
GN 2 大多是由廠區外埋設地下管
線進入廠區氣體場內，以 Giga-
FAB 規模來看，GN 2 管線尺寸高達
450mm，所以必須考量外管線如
何順利無干涉的進入氣體場內，還
有無論是露天儲槽區或是有遮蔽的
鋼瓶及槽車存放區，氣體管線都需
要藉由管溝或管架才能將儲存氣體
輸送到生產工廠內，因此也須考量
管溝或管架的配置，考量的要點是
在管線不會相互干涉的前提下，優
先降低管溝或管架長度，其次就是
要縮短管線長度。除此之外，因大
NEW FAB ENGINEERING JOURNAL MARCH 2013 29
