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技術專文

圖九、配管廠商使用氣體來源示意圖

As was

PAr 用於焊接 PN 用於 QC
容量約 200 公升 流量 <10m /hr 線上型 2
3
小液罐 氣體純化器

To be

PAr 用於焊接 PN 用於 QC
大容量約 (>20,000L) 大流量 (>30m /hr) 2
3
液化氣體儲槽 高純度氣體純化器

氣體品質分析儀

型儲槽須使用大型拖車運輸及動用 Relief Valve) 以防超壓，又，基於 淨才能正式投產，過程中需要花費
兩台大型吊車才能使儲槽定位（運 潔淨度要求，每次槽車更換時必須 很長時間及高額氣體費用，才能通
輸、吊裝照片如 圖七、八所示）， 先用氣體吹淨管線，吹淨氣體及壓 過品質穩定度的 1 sigma matching
吊車、拖車之進出動線及配置位置 力釋放閥的排放點盡可能遠離補充 要求。以往都必須使用臨時排氣
也要考量，以免造成困擾。 氣 體 (Make-up Air) 吸 入 口， 以 免 管，將廢氣排放到安全地點，以免
被吸入生產工廠的潔淨室內造成虛 造成工安問題，這些浪費的氣體費
第四項考量點─品質分析儀器 (CQC 驚事件。最後，儲槽區的液化氣體 用則由氣體供應商（不純物 >1ppb
Analyzer) 放置位置 蒸發器之功能是將低溫液化氣體轉 部分）及公司（不純物 <1ppb 部分）
隨著製程能力提升，對氣體品質要 變成氣體，是個需要吸熱的設備， 負擔。
求愈來愈高，原物料之源頭管理日 迎風面或日照充足處都是適宜的設
由上述說明可以聯想到，若能
益重要。儲槽區是使用液化氣體槽 置地點。
將 PAr 及 PN 2 純 化 器 1 sigma
車運送及進行灌充，為了確保充填
matching 排放的廢氣輸送給氣體配
進入儲槽的液化氣體品質合乎要
管使用，則可達到節能效益。在實
求，通常設有品質分析儀器確認灌
務面的做法是氣體場必須及早完工
充前後儲槽品質，因品質分析的取
及通過竣工檢查（取得使用許可），
樣 管 (Sampling tube) 是 從 儲 槽 取 PAr 及 PN 純化器 於大量配管工作展開前，PAr/PN 2
2
樣點 (Sampling Port) 配置到分析儀 之試車節能經驗 氣體純化器先開機試車，配合優先
器，考量分析的即時性與準確度，
配置的 PAr/PN 2 正式管線（可節省
分析儀器愈接近儲槽愈佳 ( 取樣管
部分臨時管線配置時間及費用），
距離愈短愈佳 )，因此規劃氣體場 在氣體配管過程中需使用 PAr 作
高純度的 PAr/PN 2 可供應給廠商配
須一併考量分析儀器放置位置；另 為焊接氣體，以及使用 PN 2 做
管使用。
外，H 2 、He 及 N 2 O 也須規劃分析 為品管用的吹淨氣體，因氣體配
其次，利用原本排放浪費的氣體給
儀器存放位置。 管所需的品質要求較低（不純物
配管使用，一方面以可確保配管廠
<10ppb），以往廠商是使用小液
商使用高純度氣體執行焊接工作，
第五項考量點─風向及日照 罐，經過線上型純化器後透過臨時
另一方面則因系統端純化器的流量
GH 2 使用高壓鋼管槽車 (Tube 管線輸送到現場使用（臨時管線於
大且品質優，可大幅縮短配管後品
trailer) 供應，在槽車端及供應系 建廠完後拆除）。另一方面，大宗
質檢驗 (QC) 時間與降低配管廠商
統盤面均設有壓力釋放閥 (Safety 氣體純化器在試車階段必須進行吹
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