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技術專文

表一、大宗氣體物理特性表 [1]

氣體名稱 氣體特性／危害 容器／輸送方式 分子量 沸點 密度
3
Melecular Weight Melting Point@1atm Density kg/m @1atm/0
惰性 地下管線輸送 28.013 -195.8℃ 1.16
GN 2
低溫液化儲槽
LN 2
氧化性 低溫液化儲槽 31.999 -182.98℃ 1.325
UPO 2
低溫液化儲槽
IO 2
LAr 惰性 低溫液化儲槽 39.984 -185.87℃ 1.654

可燃性 高壓槽車(Trailer)或 2.016 -252.76℃ 0.083
GH 2
高壓集束鋼瓶(Bundle)
GHe 惰性 高壓槽車(Trailer)或 4.003 -268.93℃ 0.166
高壓集束鋼瓶(Bundle)

圖一、包裝之容量大小比較

鋼瓶 集束鋼瓶 Y型鋼瓶 高壓鋼管槽車
<49 L 564L (12瓶×47L) 450L or 900L >16,000L

險，最常用的手法就是採用大包裝 大宗特殊氣體特性如 表二所示。
的供應方式。所以，以往特殊氣體
文獻回顧
鋼瓶用量在到達經濟規模時會改用
氣體場的基本設置要求
大 包 裝 的 集 束 鋼 瓶 (Bundle) 或 Y
氣體場依存放環境的特性分成兩
大宗氣體種類及特性 型 鋼 瓶 (Y-Cylinder)， 甚 至 是 槽 車
類—露天儲槽區及有遮蔽的鋼瓶及
大 宗 氣 體 包 含 氣 氮 (GN 2 )、 液 氮 (Trailer) 或 低 溫 液 態 儲 槽 (Liquefy
槽車存放區。
(LN 2 )、超高純氧 (UPO 2 )、工業級 Gas Tank) 方式供應，各種不同包
液氧 (IO 2 )、液氬 (LAr)、氫氣 (GH 2 ) 裝之容量大小比較如 圖一。 露天儲槽區 (Tank Yard)
及氦氣 (GHe)。如同家用天然瓦 業界常用的大宗特殊氣體則包含矽 LN 2 、LO 2 、LAr、LCO 2 等液化氣
斯，氣氮大多使用地下管線輸送； 甲 烷 (SiH 4 )、 氨 氣 (NH 3 )、氯化氫 體是以液體狀態存放在低溫儲槽
液化氣體部分都是藉由低溫液化槽 內，經由蒸發器 (Evaporator) 吸熱
氣 (HCL)、氧化亞氮 (N 2 O)、三氟
車運送到氣體場灌充；目前氫氣及 化氮 (NF 3 )、四氟化碳 (CF 4 )、二氧 後轉變為氣體，再透過過濾器、調
氦氣仍是使用拖車將高壓鋼管尾車 壓閥件、管路等輸送到現場，供應
化碳 (CO 2 )…等，其中較特殊的是
(Tube trailer) 運送至廠內更換。大 系統如 圖二所示。
二氧化碳，因二氧化碳用量漸增，
宗氣體特性如 表一所示。
在新建廠區已開始設置低溫液化儲 由於土地資源很珍貴，所以儲槽都
槽 (LCO 2 Tank)，除了可強化品質 是使用立式罐以節省空間。低溫
大宗特殊氣體種類及特性 監視能力、降低更換風險及人力負 儲槽為雙層式金屬結構 ( 類似保溫
為了降低採購成本及降低更換風 擔外，更有很大的節能效益。常見 瓶構造 )，中間填充保溫材料，以

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