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圖十、吹淨氣體純度及費用負擔圖示
金屬配管用氣體規格
Puri er 允收規格
1 sigma matching 合格規格
<1 ppb 1 ppb 10 ppb
公司支付氣體費用 氣體供應商支付氣體費用
As was
氣體對空排放
金屬配管廠商支付氣體費用 氣體供應商支付氣體費用
To be
PAr/PN 氣體可用於焊接或 purge 主管線
2
表三、PAr/PN 2 純化器之試車節能作法之好處
分類 公司好處 金屬配管廠商好處 氣體供應商好處
品質 確保配管廠商使用高純度氣體執行焊接工作 使用高純度氣體可提高焊接品質 NA
充份吹淨純化器及管路
安全 避免配管商儲存及更換氣體所引起的風險 避免儲存及更換氣體所引起的風 NA
險
節能 縮短品質檢驗時間 節省配置臨時管線成本 節省吹淨氣體費用(不純物>1ppb部分)及增
節省1 sigma matching吹淨氣體費用(不純物 節省吹淨費用及管理負擔 加銷售量
<1ppb部分).
焊接及吹淨氣體費用。第三方面則 最近的建廠專案實際驗證，這種做
因現場吹淨的高、低壓反覆冲吹 法的確可讓公司、配管廠商及氣體
（爆管），而使氣體純化器及輸送 供應商三者互蒙其利。
管線更為潔淨，可以避免投產後氣
體用量劇增時引起的不純物上升現
象。圖九為變更前後配管廠商使用
氣體來源示意圖；圖十為變更前後
吹淨氣體純度及費用負擔示意圖； 參考文獻
節能做法的好處則如 表三所示。 [1] Matheson Gas Data Book, Seventh
Edition.
[2] 亞東氣體公司教育訓練教材
[3] 行政院勞工委員會勞工安全衛生所，勞
工安全衛生研究報告 (IOSH98-S304)—
四氫化矽的製造與儲存管理規範研究，
結論 P13~15
[4] AIGA 052, Storage and handling of
silane and silane mixtures., page14,
Table3 Minimum distance from cylinder
規劃氣體場最重要的任務就是必須
sources in storage or use to outdoor
達成安全與品質穩定兩項基本要 exposures.
求，節能則是時代趨勢。配合工法 [5] AIGA 033, Hydrogen transportation
pipelines,page65, Appendix E : Table of
改進可提高氣體配管品質及大幅縮
typical safety distances for hydrogen
短配管後的品管時間及成本，經過 control and Isolating/metering stations.
NEW FAB ENGINEERING JOURNAL MARCH 2013 31
