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表二、大宗特殊氣體物理特性表 [1]
氣體 氣體特性 化學品全球調和制度 容器／輸送方式 分子量 沸點 密度
3
名稱 ／危害 (GHS)象徵符號 Melecular Weight Melting Point@1atm Density kg/m @1atm/0℃
惰性 高壓液化鋼瓶(Y-Cylinder) 88.050 -128.06℃ 3.645
CF 4
惰性 高壓液化鋼瓶(Y-Cylinder) 44.010 -78.45℃ 1.823
CO 2
N 2 O 氧化性 高壓液化鋼瓶(Y-Cylinder) 44.013 -88.48℃ 1.823
氧化性 高壓槽車(Trailer)或 71.002 -129.06℃ 2.941
NF 3
高壓液化鋼瓶(Y-Cylinder)
可燃性 高壓液化鋼瓶(Y-Cylinder) 17.031 -33.43℃ 0.705
NH 3
可燃性 高壓液化鋼瓶(Y-Cylinder) 32.117 -112.15℃ 1.330
SiH 4
HCL 腐蝕性 高壓液化鋼瓶(Y-Cylinder) 36.461 -85.00℃ 1.510
圖二、大宗氣體供應系統示意圖 [2]
Bulk Gas Yard Purifier Room(s) Inside Fab
FF
FAB
PF
FF
Final Filter CQC
PF
Purifler
3
240m LN 2 儲槽在 90% 存量時之
圖三、露天儲槽區照片
自重再加上儲存的液化氣體總重量
超過 250 噸，所以在儲槽區之土建
基礎除了必須能夠承載負荷外且沉
陷量必須合乎法規要求。以實務經
驗而言，LN 2 儲槽區下方鋼筋混凝
土層厚度接近 2 公尺，且必須在混
凝土層下方打樁，以增加沉陷抵抗
能力。
另外，儲槽的蒸發器所產生的冷凝
水屬於工業廢水，必須設置集水坑
回收到廢水場處理，至於下雨的雨
水，則可直接進入雨排。露天儲槽
區照片如 圖三。
有遮蔽的鋼瓶及槽車存放區
(BSGS Yard)
對於 H 2 、He 及大宗特殊氣體，則
是設置在有遮蔽的存放區，一方面
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