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文│洪舜立│新廠規劃部│

氣體場設置規劃

對建廠而言，通常是優先規劃好生產工廠 (FAB)、中央廠務工廠
(CUP) 及辦公大樓 (Office Building) 等建築物位置後，才開始著眼於
氣體場選址，所以氣體場的規劃須在有限的場地選擇條件下做最佳
化的利用。本文內容主要探討氣體場規劃時應注意的問題，希望能
達到安全、穩定之目的。在文章最後則針對提高氣體配管施工品質
及節能方面，與讀者們經驗分享。

前言

氣體場主要放置的是大宗氣體 (Bulk Gas) 及大宗特殊氣體 (Bulk
Specialty Gas System；BSGS)，設置氣體場的主要目的是將佔用
空間大、危險性高或用量大的氣體供應系統放置在距離生產工廠
較遠的地方，除了空間考量外，一方面是基於安全性要求；另一
方面則是便利於灌充及更換作業。
由於放置在氣體場的都是大包裝、大用量的氣體，一但發生異常，
所影響的層面較廣，因此，安全與穩定就是設置規劃的第一要務。
其次，由於使用大宗氣體或大宗特殊氣體的基本出發點就是要降
低營運成本，所使用的大包裝容器都必須藉由堆高機或拖車等車
輛運輸才能遂行更換或灌充作業，所以車輛進出動線及灌充所需
空間也必須做整體考量。

洪舜立 S.L. Hung
靜思語分享
理直要氣和，得理要饒人
生命因利他而豐富

NEW FAB ENGINEERING JOURNAL MARCH 2013 25